一种高纯硅烷的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高纯硅烷的制备方法，包括：1）将钠溶解在液氨中形成混合液；2）将所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应釜内气体合格；3）将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷；4）将粗硅烷进行吸附、精馏，即得所述高纯硅烷。本发明专利技术的高纯硅烷的制备方法，原料廉价易得，具有很大的成本优势；反应条件温和，安全系数高，易于控制，便于自动化操作，适合大规模工业化生产；反应过程中夹杂的杂质气体少，所得硅烷产品纯度高，简化了后续硅烷提纯的工艺，进一步降低设备投资与生产成本；副产物纯度高，可直接用于生产无机氟化物，具有显著的经济效益和环境效益，适合推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅烷生产
，具体涉及。
技术介绍
硅烷是一种重要的化工产品，其经提纯后得到的超高纯电子气体，是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品，是制备电子级多晶硅、非晶硅薄膜电池、硅片外延、覆膜玻璃、纳米硅材料等产品的主要原料，并且是迄今世界上唯一大规模生产粒状高纯度硅的中间产物，对信息产业和新能源产业的发展有着举足轻重的作用。目前，硅烷的制备技术主要掌控在发达国家的少数企业手中，主要生产企业有美国REC公司、MEMC公司、美国UCC公司等。归纳起来，国内外生产硅烷法技术主要有:1.硅化镁合金法制备硅烷:该法称硅化镁法，日本小松技术。它利用硅化镁与氯化铵在-20°C左右的液氨中进行化学反应得到硅烷；是早期国际上普遍采用的一种生产方法，后来逐渐被其它方法所取代；适于间歇生产，能耗高，副产物难以分离，同时又因为发生过爆炸，现没有工业化装置。2.三氯氢硅还原法制备硅烷:又称氢化锂还原三氯氢硅制备硅烷法。它采用金属氢化物氢化锂做还原剂，原始技术来源于美国UCC公司；该技术不适于大规模生产，同时存在原材料成本高、操作繁琐、原料进口难等问题。3.四 氟化硅还原法制备硅烷:本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯硅烷的制备方法，其特征在于：包括下列步骤：1）将钠溶解在液氨中形成混合液；2）将步骤1）所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应釜内气体合格；3）在搅拌条件下，将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷；4）将步骤3）所得粗硅烷进行吸附、精馏，即得所述高纯硅烷。

【技术特征摘要】
1.一种高纯硅烷的制备方法，其特征在于:包括下列步骤: 1)将钠溶解在液氨中形成混合液； 2)将步骤I)所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应爸内气体合格； 3)在搅拌条件下，将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷； 4)将步骤3)所得粗硅烷进行吸附、精馏，即得所述高纯硅烷。2.根据权利要求1所述的高纯硅烷的制备方法，其特征在于:步骤I)中钠与液氨的摩尔比为1:1.0~5.0。3.根据权利要求1所述的高纯硅烷的制备方法，其特征在于:步骤2)中所述气体合格是指反应爸内气体中水分< 10ppm、02 ( 20ppm。4.根据权利要求1所述的高纯硅烷的制备方法，其特征在于:步骤3)中SiF4、H2的通入量为:SiF4、H2与钠的摩尔比为1.0:3.0~7.0:2.0~3.0。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李保山，李世江，侯红军，杨华春，李云峰，于贺华，薛旭金，刘海霞，刘陈红，薛峰峰，
申请(专利权)人：多氟多化工股份有限公司，北京化工大学，
类型：发明
国别省市：