硅烷气体收集装置制造方法及图纸

技术编号:9017891 阅读:226 留言:0更新日期:2013-08-09 01:49
本实用新型专利技术涉及一种硅烷气体收集装置,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接,通过本实用新型专利技术能提高硅烷气体收集的纯度,且收集彻底。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅烷气体生产加工领域,尤其涉及一种硅烷气体收集装置
技术介绍
在硅烷气体生产设备中,硅烷气体收集装置是必不可少的一项设备,在现有技术中,硅烷气体收集装置在收集硅烷气体时,收集不彻底,且在收集过程中,存在很多其他杂质气体,对硅烷气体的纯度有一定的影响,在后期使用中,也存在着很大的弊端。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种提高硅烷气体收集的纯度,且收集彻底的硅烷气体收集装置。本技术是这样实现的,一种硅烷气体收集装置,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接。进一步地, 所述收集钢瓶上均设有进气管和出气管,所述进气管设于所述收集钢瓶的顶端,且与运输气管连接,所述出气管设于所述收集钢瓶的顶部侧边,位于所述进气管与所述收集钢瓶连接处的下方,且与所述运输气管连接。进一步地,在运输气管上,每个收集钢瓶的进气管和出气管与所述运输气管的连接处之间均设有阀门。进一步地,所述运输气管的进气端设有总阀门一。进一步地,所述运输气管的出气端设有总阀门二。进一步地,所述运输气管的出气端设有收集气体管道。进一步地,所述检测点火器与所述与所述运输气管之间设有阀门。本技术提供的硅烷气体收集装置的优点在于:通过本技术能提高硅烷气体收集的纯度,且收集彻底。通过设置检测点火器,能有效的探测收集钢瓶内部的液氨是否搜集满,而采取相应措施。通过设置冷却装置,由于氨气的一定的冷温度下,会转换成液氨,有效的将氨气与其他杂质气体分开,除杂方便快捷。附图说明图1为本技术硅烷气体收集装置的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。请参阅图1,图1为本技术硅烷气体收集装置100的结构示意图。所述硅烷气体收集装置100包括至少两个收集钢瓶20、运输气管10、检测点火器40和冷却装置30,所述收集钢瓶20均并联连接在所述运输气管10上,所述收集钢瓶20置于所述冷却装置30内部,所述检测点火器40与所述运输气管10的出气端12连接。所述收集钢瓶20上均设有进气管21和出气管22,所述进气管21设于所述收集钢瓶20的顶端,且与运输气管10连接,所述出气管22设于所述收集钢瓶20的顶部侧边,位于所述进气管21与所述收集钢瓶20连接处的下方,且与所述运输气管10连接。在运输气管10上,每个收集钢瓶20的进气管21和出气管22与所述运输气管10的连接处之间均设有阀门3。所述运输气管10的进气端11设有总阀门一 1,所述运输气管10的出气端12设有总阀门二 2。所述运输气管10的出气端12设有收集气体管道50。所述检测点火器40与所述与所述运输气管10之间设有阀门4。工作时,首先将冷却装置30制冷,氨气在一定温度下状态转化为液氨,收集在收集钢瓶20内,当检测点火器40点火时,代表收集钢瓶20装满,拆下冷却装置30,液氨汽化,收集氨气。综上所述:通过本技术能提高硅烷气体收集的纯度,且收集彻底。通过设置检测点火器,能有效的探测收集钢瓶内部的液氨是否搜集满,而采取相应措施。通过设置冷却装置,由于氨气在一定的冷温度下,会转换成液氨,有效的将氨气与其他杂质气体分开,除杂方便快捷。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本技术的保护范围之 内。权利要求1.硅烷气体收集装置,其特征在于,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接。2.根据权利要求1所述的硅烷气体收集装置,其特征在于,所述收集钢瓶上均设有进气管和出气管,所述进气管设于所述收集钢瓶的顶端,且与运输气管连接,所述出气管设于所述收集钢瓶的顶部侧边,位于所述进气管与所述收集钢瓶连接处的下方,且与所述运输气管连接。3.根据权利要求2所述的硅烷气体收集装置,其特征在于,在运输气管上,每个收集钢瓶的进气管和出气管与所述运输气管的连接处之间均设有阀门。4.根据权利要求1所述的硅烷气体收集装置,其特征在于,所述运输气管的进气端设有总阀门一。5.根据权利要求4所述的硅烷气体收集装置,其特征在于,所述运输气管的出气端设有总阀门二。6.根据权利要 求1-5任意一项所述的娃烧气体收集装置,其特征在于,所述运输气管的出气端设有收集气体管道。7.根据权利要求6所述的硅烷气体收集装置,其特征在于,所述检测点火器与所述与所述运输气管之间设有阀门。专利摘要本技术涉及一种硅烷气体收集装置,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接,通过本技术能提高硅烷气体收集的纯度,且收集彻底。文档编号C01B33/04GK203112517SQ20132013710公开日2013年8月7日 申请日期2013年3月25日 优先权日2013年3月25日专利技术者覃盛华 申请人:中南林业科技大学本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅烷气体收集装置,其特征在于,包括至少两个收集钢瓶、运输气管、检测点火器和冷却装置,所述收集钢瓶均并联连接在所述运输气管上,所述收集钢瓶置于所述冷却装置内部,所述检测点火器与所述运输气管的出气端连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:覃盛华
申请(专利权)人:中南林业科技大学
类型:实用新型
国别省市:

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