【技术实现步骤摘要】
硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置
本技术涉及一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置。
技术介绍
纳米硅粉是一种棕黄色粉末，用途广泛。可作为充电锂电池负极材料，提高锂电池容量和充放电循环次数，还可用在耐火涂层和耐火材料里，同时在陶瓷材料、复合材料、催化材料、光电材料以及生物材料等领域都有巨大的潜在应用前景。目前常用的纳米硅粉生产工艺有静电喷雾辅助化学沉积(ES-CVD)，热丝化学气相沉积(HWCVD)，激光诱导化学气相沉积(LICVD)等，但这些方法对设备要求高，能耗大，且难以实现产业化生产。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有纳米级高纯硅粉生产工艺成本高、能耗大以及产业化等不足，提供一种设备简单、操作安全的硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置，可以实现闭合循环连续生产，成本低，产能高。一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统，所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线、反应气氢气管线、配比缓冲罐、硅烷管式反应器、尾气冷却器，反应气硅烷管线、反应气氢气管线与配比缓冲罐相连，配比缓冲罐、硅烷管式反应器、尾气冷却器...
【技术保护点】
一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置，其特征在于，包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统，所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线（1）、反应气氢气管线（2）、配比缓冲罐（3）、硅烷管式反应器（4）、尾气冷却器（5），反应气硅烷管线（1）、反应气氢气管线（2）与配比缓冲罐（3）相连，配比缓冲罐（3）、硅烷管式反应器（4）、尾气冷却器（5）顺次相连，硅粉过滤收集系统包括氢气反吹过滤器管线（6）、一级硅粉过滤器（7）、二级硅粉过滤器（8）、一级硅粉收集仓（9）、二级硅粉收集仓（10）、真空泵（11）、一级硅粉出口管线（12）、二级硅粉出口管线（13），氢气反吹过滤...
【技术特征摘要】
1.一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置，其特征在于，包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统，所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线(I)、反应气氢气管线(2)、配比缓冲罐(3)、娃烧管式反应器(4)、尾气冷却器(5),反应气娃烧管线(I)、反应气氢气管线(2)与配比缓冲罐(3)相连，配比缓冲罐(3)、硅烷管式反应器(4)、尾气冷却器(5)顺次相连，硅粉过滤收集系统包括氢气反吹过滤器管线(6)、一级硅粉过滤器(7)、二级硅粉过滤器(8)、一级硅粉收集仓(9)、二级硅粉收集仓(10)、真空泵(11)、一级硅粉出口管线(12)、二级娃粉出口管线(13),氢气反吹过滤器管线(6) —端与反应气氢气管线(2)相连，氢气反吹过滤器管线(6)另一端分别与一级硅粉过滤器(7)、二级硅粉...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈德伟，郑安雄，廖敏，张鹏飞，
申请(专利权)人：浙江中宁硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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