一种四氟化硅充装系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种四氟化硅充装系统

【技术实现步骤摘要】
一种四氟化硅充装系统


[0001]本技术属于四氟化硅充装
，具体涉及一种四氟化硅充装系统
。

技术介绍

[0002]四氟化硅在电子和半导体行业中主要用于氮化硅
、
硅化钽等的蚀刻剂
、P
型掺杂剂
、
外延沉积扩散硅源等，还可用于制备电子级硅烷或硅
。
四氟化硅还可用作光导纤维用高纯石英玻璃的原料，它在高温火焰中水解可产生具有高比表面积的热沉二氧化硅
。
此外，四氟化硅还广泛用在制备太阳能电池
、
氟硅酸
、
氟化铝
、
化学分析
、
氟化剂
、
油井钻探
、
镁合金浇铸
、
催化剂
、
蒸熏剂
、
水泥及人造大理石的硬化剂等领域
。
在预制水泥中使用四氟化硅后，可增进其耐蚀性和耐磨性，改善其孔隙度和增加压缩强度
。
[0003]四氟化硅对充装管线设计及洁净度要求较高，四氟化硅充装系统处于初级阶段，尚无标准可借鉴，原有充装技术都处于低产量的状态下
。
随着四氟化硅使用越来越广泛，对四氟化硅充装速度和充装质量提出了更高的要求
。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种四氟化硅充装系统
。
[0005]本技术的一种四氟化硅充装系统的技术方案是：
[0006]一种四氟化硅充装系统，包括四氟化硅管线
、
氮气管线
、
氦气管线
、
尾气管线
、
返料管线
、
抽真空管线
、
分析管线以及多接头充装面板，所述四氟化硅管线
、
氮气管线
、
氦气管线
、
返料管线
、
抽真空管线以及分析管线分别与所述多接头充装面板连接，所述多接头充装面板设有若干个与四氟化硅钢瓶连接的接头，所述四氟化硅管线沿气流方向依次设有储罐
、
缓冲罐以及压缩机，所述氮气管线与所述四氟化硅管线连接，所述尾气管线分别与所述储罐
、
缓冲罐以及压缩机的排气口连接
。
[0007]进一步的，所述四氟化硅管线包括第一四氟化硅管
、
第二四氟化硅管以及第三四氟化硅管，所述第一四氟化硅管的两端分别连接在所述储罐的出气口和缓冲罐的进气口上，所述第二四氟化硅管的两端分别连接在所述缓冲罐的出气口和压缩机的进气口上，所述第三四氟化硅管的两端分别连接在所述压缩机的出气口和多接头充装面板上
。
[0008]进一步的，所述氮气管线包括第一氮气管以及第二氮气管，所述第一氮气管的一端与所述多接头充装面板连接，所述第二氮气管的两端分别与所述第一氮气管和第二四氟化硅管连接
。
[0009]进一步的，所述分析管线包括第一分析管以及第二分析管，所述第一分析管的一端与所述多接头充装面板连接，所述第二分析管的两端分别与所述第一四氟化硅管和第一分析管连接
。
[0010]进一步的，所述氦气管线包括氦气管以及氦气瓶，所述氦气管的一端与所述多接头充装面板连接，另一端与所述氦气瓶连接
。
[0011]进一步的，所述抽真空管线包括抽真空管以及真空泵，所述抽真空管的一端与所
述多接头充装面板连接
。
[0012]进一步的，所述尾气管线包括第一尾气管
、
第二尾气管以及第三尾气管，所述第一尾气管的一端与所述储罐的排气口连接
、
另一端与所述抽真空管连接，所述第二尾气管的两端分别与所述第一尾气管和储罐的排气口连接，所述第三尾气管的两端分别与所述第一尾气管和压缩机的排气口连接
。
[0013]进一步的，所述返料管线包括第一返料管
、
第二返料管
、
第三返料管
、
第四返料管
、
第一回收罐以及第二回收罐，所述第一返料管的两端分别与所述多接头充装面板
、
第一回收罐连接，所述第二返料管的两端分别与所述第三四氟化硅管和第二回收罐连接，所述第三返料管的两端分别与所述储罐的泄压口和第二返料管连接，所述第四返料管的两端分别与第一返料管和第三返料管连接
。
[0014]本技术提供了一种四氟化硅充装系统，其有益效果是：
[0015]本技术的四氟化硅充装系统使用时，四氟化硅钢瓶中的残余四氟化硅通过返料管线进行回收，氦气管线向四氟化硅钢瓶内充入氦气，抽真空管线将四氟化硅钢瓶抽至真空
。
氮气管线对四氟化硅钢瓶进行气密性检测，并对四氟化硅充装系统进行吹扫，尾气管线将储罐
、
缓冲罐以及压缩机置换尾气排出
。
抽真空管线将四氟化硅充装系统抽至真空，分析管线对抽真空后的各管线以及四氟化硅钢瓶进行分析
。
符合标准后，四氟化硅管线向各个四氟化硅钢瓶内充入四氟化硅气体
。
本技术的四氟化硅充装系统能够对钢瓶残余气体进行返料回收，能够对每个钢瓶进行气密性检测，分析完成后无需拆装即可对每个钢瓶进行充装，操作方便，充满时间短，充装效率高
。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例的四氟化硅充装系统的原理图；
[0017]图2是本技术实施例的四氟化硅充装系统的原理图的部分；
[0018]图3是本技术实施例的四氟化硅充装系统的原理图的另一部分；
[0019]图中：
1、
多接头充装面板；
2、
储罐；
3、
缓冲罐；
4、
压缩机；
5、
第一四氟化硅管；
6、
第二四氟化硅管；
7、
第三四氟化硅管；
8、
第一氮气管；
9、
第二氮气管；
10、
第一分析管；
11、
第二分析管；
12、
氦气管；
13、
氦气瓶；
14、
抽真空管；
15、
真空泵；
16、
第一尾气管；
17、
第二尾气管；
18、
第三尾气管；
19、
第一返料管；
20、
第二返料管；
21、
第三返料管；
22、
第四返料管；
23、
第一回收罐；
24、
第二回收罐；
25、
四氟化硅钢瓶
。
具体实施方式
[0020]下面结合附图及具体实施方式对本技术作进一步详细描述：
[0021]本技术的四氟本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种四氟化硅充装系统，其特征在于，包括四氟化硅管线
、
氮气管线
、
氦气管线
、
尾气管线
、
返料管线
、
抽真空管线
、
分析管线以及多接头充装面板，所述四氟化硅管线
、
氮气管线
、
氦气管线
、
返料管线
、
抽真空管线以及分析管线分别与所述多接头充装面板连接，所述多接头充装面板设有若干个与四氟化硅钢瓶连接的接头，所述四氟化硅管线沿气流方向依次设有储罐
、
缓冲罐以及压缩机，所述氮气管线与所述四氟化硅管线连接，所述尾气管线分别与所述储罐
、
缓冲罐以及压缩机的排气口连接
。2.
根据权利要求1所述的四氟化硅充装系统，其特征在于，所述四氟化硅管线包括第一四氟化硅管
、
第二四氟化硅管以及第三四氟化硅管，所述第一四氟化硅管的两端分别连接在所述储罐的出气口和缓冲罐的进气口上，所述第二四氟化硅管的两端分别连接在所述缓冲罐的出气口和压缩机的进气口上，所述第三四氟化硅管的两端分别连接在所述压缩机的出气口和多接头充装面板上
。3.
根据权利要求2所述的四氟化硅充装系统，其特征在于，所述氮气管线包括第一氮气管以及第二氮气管，所述第一氮气管的一端与所述多接头充装面板连接，所述第二氮气管的两端分别与所述第一氮气管和第二四氟化硅管连接
。4.
根据权利要求2所述的四氟化硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗广奉，陈丽洪，郑安雄，陈超，
申请(专利权)人：浙江中宁硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：