一种乙硅烷取样系统技术方案

本技术涉及一种乙硅烷取样系统。该乙硅烷取样系统包括进样管线、吹扫管线、放空管线以及检测管线，所述进样管线包括第一进样管以及若干个并联布置且分别与所述第一进样管连接的第二进样管，所述第二进样管上设有向所述第一进样管内进气的第一隔离阀，所述吹扫管线与所述第一进样管连通，所述放空管线的进气端与所述第一进样管连接，所述放空管线的出气端上设有文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器的进气口连接有高压氮气管线，所述文丘里真空发生器的抽气口与所述放空管连接。相比于现有技术，本技术的乙硅烷取样系统解决了人身安全问题、管道残留问题、环境污染问题、样气二次污染问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于乙硅烷取样，具体涉及一种乙硅烷取样系统。

技术介绍

1、乙硅烷是一种无机化合物,主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、化学气相沉积等方面。高纯乙硅烷作为半导体细微化工艺的气体生产蒸镀薄膜时,可在低温环境中快速形成均匀的薄膜,。与硅烷等其它硅基特气相比,高纯乙硅烷具有沉积速度更快,沉积温度更低、成膜均一度更高的特点,主要使用在20纳米以下高端芯片制造中,附加值极高。

2、高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中的安全性、是否有空气混入、系统的密闭性、系统是否有死体积等环节。目前，常规乙硅烷取样系统采用普通截止阀、管道、快速接头连接，取样时容易造成人身安全问题、管道残留问题、环境污染问题、样气二次污染问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本技术提供了一种乙硅烷取样系统。

2、本技术的一种乙硅烷取样系统的技术方案是：

3、一种乙硅烷取样系统，包括进样管线、吹扫管线、放空管线以及检测管线，所述进样管线包括第一进样管以及若干个并联布置且分别与所述第一进样管连接的第二进样管，所述第二进样管上设有向所述第一进样管内进气的第一隔离阀，所述吹扫管线与所述第一进样管连通，所述放空管线的进气端与所述第一进样管连接，所述放空管线的出气端上设有文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器的进气口连接有高压氮气管线，所述文丘里真空发生器的抽气口与所述放空管连接。

4、进一步的，所述吹扫管线包括第一吹扫管、第二吹扫管以及第三吹扫管，所述第二吹扫管与第三吹扫管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第一吹扫管的一端通过二通接头与所述第二吹扫管远离第一进样管的一端连接，所述第一吹扫管的另一端通过三通接头连接在所述第三吹扫管上，所述第二吹扫管以及第三吹扫管上分别设有第二隔离阀。

5、进一步的，所述放空管线包括第一放空管、第二放空管、第三放空管以及第四放空管，所述第二放空管、第三放空管以及第四放空管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第二放空管、第三放空管以及第四放空管上分别设有第三隔离阀，所述第一放空管的一端通过二通接头与所述第二放空管远离所述第一进样管的端部连接，所述第一放空管的另一端通过三通接头连接在所述第四放空管上，所述第三放空管远离所述第一进样管的端部通过三通接头与所述第一放空管连接，所述文丘里真空发生器的抽气口连接在所述第四放空管远离第一进样管的端部。

6、进一步的，所述检测管线包括金属杂质分析管线、微量水分分析管线、气相分析管线。

7、进一步的，所述金属杂质分析管线的一端与所述第一进样管连接，所述金属杂质分析管线上设有第四隔离阀，所述微量水分分析管线的一端与所述第一进样管连接，所述微量水分分析管线上设有第五隔离阀。

8、进一步的，所述气相分析管线具有三条，三条所述气相分析管线并联布置，所述气相分析管线包括气相分析进样管以及标气管，所述标气管的出气端连接在所述气相分析进样管上，所述气相分析进样管一端与所述第一进样管连接，所述气相分析进样管上设有第六隔离阀，所述标气管上设有第七隔离阀。

9、本技术提供了一种乙硅烷取样系统，其有益效果是：

10、本技术的乙硅烷取样系统使用时，吹扫管线中的氦气对系统各管线进行吹扫置换，放空管线对系统各管线进行抽真空，重复该置换操作6次，能保证系统中管线清洁干净。打开进样管线，将样品导入系统，样品进入检测管线，对样品进行分析。本技术中，因乙硅烷气体比较黏，在管道中不易于彻底清除，通过在放空管线上增加文丘里真空发生器，可使系统达到一定的负压，然后再往系统中充氦气后再放空，如此反复的置换可使系统中的乙硅烷彻底清除。相比于现有技术，本技术的乙硅烷取样系统解决了人身安全问题、管道残留问题、环境污染问题、样气二次污染问题。

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【技术保护点】

1.一种乙硅烷取样系统，其特征在于，包括进样管线、吹扫管线、放空管线以及检测管线，所述进样管线包括第一进样管以及若干个并联布置且分别与所述第一进样管连接的第二进样管，所述第二进样管上设有向所述第一进样管内进气的第一隔离阀，所述吹扫管线与所述第一进样管连通，所述放空管线的进气端与所述第一进样管连接，所述放空管线的出气端上设有文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器的进气口连接有高压氮气管线，所述文丘里真空发生器的抽气口与所述放空管连接。

2.根据权利要求1所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述吹扫管线包括第一吹扫管、第二吹扫管以及第三吹扫管，所述第二吹扫管与第三吹扫管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第一吹扫管的一端通过二通接头与所述第二吹扫管远离第一进样管的一端连接，所述第一吹扫管的另一端通过三通接头连接在所述第三吹扫管上，所述第二吹扫管以及第三吹扫管上分别设有第二隔离阀。

3.根据权利要求2所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述放空管线包括第一放空管、第二放空管、第三放空管以及第四放空管，所述第二放空管、第三放空管以及第四放空管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第二放空管、第三放空管以及第四放空管上分别设有第三隔离阀，所述第一放空管的一端通过二通接头与所述第二放空管远离所述第一进样管的端部连接，所述第一放空管的另一端通过三通接头连接在所述第四放空管上，所述第三放空管远离所述第一进样管的端部通过三通接头与所述第一放空管连接，所述文丘里真空发生器的抽气口连接在所述第四放空管远离第一进样管的端部。

4.根据权利要求1所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述检测管线包括金属杂质分析管线、微量水分分析管线、气相分析管线。

5.根据权利要求4所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述金属杂质分析管线的一端与所述第一进样管连接，所述金属杂质分析管线上设有第四隔离阀，所述微量水分分析管线的一端与所述第一进样管连接，所述微量水分分析管线上设有第五隔离阀。

6.根据权利要求4所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述气相分析管线具有三条，三条所述气相分析管线并联布置，所述气相分析管线包括气相分析进样管以及标气管，所述标气管的出气端连接在所述气相分析进样管上，所述气相分析进样管一端与所述第一进样管连接，所述气相分析进样管上设有第六隔离阀，所述标气管上设有第七隔离阀。

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【技术特征摘要】

1.一种乙硅烷取样系统，其特征在于，包括进样管线、吹扫管线、放空管线以及检测管线，所述进样管线包括第一进样管以及若干个并联布置且分别与所述第一进样管连接的第二进样管，所述第二进样管上设有向所述第一进样管内进气的第一隔离阀，所述吹扫管线与所述第一进样管连通，所述放空管线的进气端与所述第一进样管连接，所述放空管线的出气端上设有文丘里真空发生器，所述文丘里真空发生器的进气口连接有高压氮气管线，所述文丘里真空发生器的抽气口与所述放空管连接。

2.根据权利要求1所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述吹扫管线包括第一吹扫管、第二吹扫管以及第三吹扫管，所述第二吹扫管与第三吹扫管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第一吹扫管的一端通过二通接头与所述第二吹扫管远离第一进样管的一端连接，所述第一吹扫管的另一端通过三通接头连接在所述第三吹扫管上，所述第二吹扫管以及第三吹扫管上分别设有第二隔离阀。

3.根据权利要求2所述的乙硅烷取样系统，其特征在于，所述放空管线包括第一放空管、第二放空管、第三放空管以及第四放空管，所述第二放空管、第三放空管以及第四放空管并联布置，且分别与所述第一进样管连接，所述第二放...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，赵斌，郑安雄，尹偲，
申请(专利权)人：浙江中宁硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：