【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种高频感应加热的硅烷分解炉，其包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。本技术的高频感应加热的硅烷分解炉利用高频感应加热的原理，对微硅粉进行加热使其熔化，利用硅液珠将热量传递给硅烷气体使其分解，实现了微硅粉的再利用；同时，耐磨耐高温材料层以及碳化硅内衬组件能防止物料和金属接触，避免了污染，从而提高了产品纯度。【专利说明】一种高频感应加热的硅烷分解炉【
】本技术涉及一种多晶硅制造设备，具体涉及一种用于硅烷法多晶硅工艺的高频感应加热的硅烷分解炉，属于硅烷法多晶硅制造设备
。【
技术介绍
】众所周知，多晶硅是电子工业及光伏产业的基石，硅烷法多晶硅以其低能耗，低成本，高纯度的特点，已经成为多晶硅众多工艺中较优的一条路线。现有技术的用于硅烷法多晶硅工艺的硅烷加热设备采用的加热体通常与...
【技术保护点】
一种高频感应加热的硅烷分解炉，其特征在于：包括分解炉筒体、加芯热棒、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，所述加芯热棒收容于分解炉筒体内，其外表面设有一层耐磨耐高温材料层，于加热芯棒内设有冷却水管；所述感应线圈设置于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接；所述加芯热棒插入感应线圈内；所述高频感应配电箱安装于分解炉筒体的一侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李耀文，耿彩军，刘斌，孙佳杰，张增玉，
申请(专利权)人：李耀文，
类型：实用新型
国别省市：
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