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本发明公开了一种高纯硅烷的制备方法，包括：1）将钠溶解在液氨中形成混合液；2）将所得混合液置于反应釜中，将惰性气体充入反应釜内进行气体置换至反应釜内气体合格；3）将SiF4和H2持续通入反应釜内与混合液进行反应，制得粗硅烷；4）将粗硅烷进行...
该专利属于多氟多化工股份有限公司;北京化工大学所有，仅供学习研究参考，未经过多氟多化工股份有限公司;北京化工大学授权不得商用。

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