本实用新型专利技术公开了一种三甲基镓尾气处理装置以及制备系统，其中，该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2)，回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀(31)的尾气进气管(3)，出气口连接有带排气阀(41)的尾气出气管(4)，尾气出气管(4)连接于压力调节装置(5)，冷却装置(1)用于将回收容器(2)的温度冷却为小于三甲基镓的熔点，所述回收容器(2)还包括通过所述出料口插入到该回收容器(2)底部的回收管(6)。通过采用低温回收容器可以提高收集三甲基镓的效率，减少产品的浪费，节省了生产成本，并且可以防止尾气污染环境。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及尾气处理装置，具体地，涉及一种三甲基镓尾气处理装置。
技术介绍
高纯三甲基镓属于高纯金属有机化合物，是利用金属有机化学气相沉积(M0CVD)工艺制备化合物半导体薄膜材料的关键支撑原材料，其广泛运用于LED设备、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、红外探测器、超级计算机等领域。三甲基镓遇空气燃烧、遇水爆炸，精馏提纯过程中需在惰性气体气氛下进行，一般是将含有三甲基镓的尾气通入装有液体石蜡的密封容器中，以隔绝空气并吸收三甲基镓。然而，由于三甲基镓蒸汽压高，沸点较低，容易在精馏提纯过程中大量排出，液体石蜡并不能完全吸收三甲基镓，泄漏的三甲基镓不仅会腐蚀下一级的生产设备，如果进入大气环境也将造成环境污染，危害人体健康；另外，石蜡吸收的三甲基镓也不利于回收再利用，不能有效地节省成本。因此，需要提供一种能够有效地回收尾气中三甲基镓的处理设备。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够回收尾气中三甲基镓的尾气处理装置。另外，本技术的目的还包括提供一种三甲基镓制备系统，该制备系统包括能够回收尾气中三甲基镓的尾气处理装置。为了实现上述目的，本技术提供一种三甲基镓尾气处理装置，其特征在于，该尾气处理装置包括压力调节装置、冷却装置和内置于该冷却装置中的闭合回收容器，所述回收容器包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀的尾气进气管，所述出气口连接有带排气阀的尾气出气管，所述尾气出气管连接于所述压力调节装置，其中所述冷却装置用于将所述回收容器的温度冷却为小于三甲基镓的熔点，所述回收容器还包括通过所述出料口插入到该回收容器底部的回收管。优选地，所述回收容器还包括连通所述尾气进气管、所述尾气出气管和所述回收管的管排，该管排中设置有位于所述尾气出气管、所述尾气进气管以及所述回收管之间的通断阀。优选地，所述尾气进气管、所述尾气出气管、所述回收管以及所述管排为金属软管或合金软管。优选地，所述回收容器还包括隔板，所述进气口和所述出气口形成于所述回收容器的顶壁并分别位于所述隔板的两侧，该隔板从所述顶壁的内壁面向下延伸以形成折返气道，使得所述尾气进气管的尾气通过所述折返气道流动至所述尾气出气管。优选地，所述尾气处理装置包括依次串联的多个所述回收容器，所述尾气处理装置还包括用于连通相邻的两个所述回收容器的中间管道，所述中间管道连接在所述回收容器的进气口与相邻的回收容器的出气口之间。优选地，每个所述中间管道设置有阀门。优选地，所述压力调节装置为手套箱。优选地，所述冷却装置为冷阱，冷却介质为液氮。优选地，所述冷阱为开放式冷阱，并且该冷阱的容器壁形成为中空结构。另外，本技术还提供了一种三甲基镓制备系统，其中，该制备系统包括尾气排放管路、物料收集容器以及根据以上方案中任意一项所述的尾气处理装置，所述尾气进气管连接于所述尾气排放管路，所述回收管连接于所述物料收集容器。通过上述技术方案，通过采用低温回收容器可以提高收集三甲基镓的效率，减少产品的浪费，节省了生产成本，并且可以防止尾气污染环境。本技术的其它特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。【附图说明】附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中:图1是根据本技术的一种【具体实施方式】的三甲基镓尾气处理装置的结构示意图。图2是根据本技术的一种【具体实施方式】的回收容器部分的结构示意图。附图标记说明1冷却装置2回收容器3尾气进气管4尾气出气管5压力调节装置6回收管7管排8隔板9中间管道31进气阀41排气阀61出料阀【具体实施方式】以下结合附图对本技术的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。本技术提供了一种三甲基镓尾气处理装置，其中，该尾气处理装置包括压力调节装置5、冷却装置1和内置于该冷却装置1中的闭合回收容器2，回收容器2包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀31的尾气进气管3，所述出气口连接有带排气阀41的尾气出气管4，尾气出气管4连接于压力调节装置5，其中冷却装置1用于将回收容器2的温度冷却为小于三甲基镓的熔点，回收容器2还包括通过所述出料口插入到该回收容器2底部的带出料阀61的回收管6。本技术的收集原理为将回收容器2的温度降低到三甲基镓的熔点以下，因此可以使得通入尾气中的三甲基镓快速地凝固而保存在回收容器2中；当回收容器2中保存了足够多的三甲基镓时，可以停止接收尾气并提高回收容器2的温度，使其中的固态的三甲基镓转变为液态，通过尾气进气管3对回收容器2的内部加压而使液态的三甲基镓通过回收管6导出并回收利用。其中，压力调节装置5用于调节回收容器2中的压力，特别地，当回收容器2中的压力过大时，可以通过压力调节装置5进行泄压。采用低温回收的方式可以显著的提高三甲基镓的回收率，提高产品利用率，并且可以有效地防止三甲基镓泄漏到环境中而危害环境或人身健康。另外，回收容器2还包括连通尾气进气管3、尾气出气管4和回收管6的管排7，管排7中设置有位于尾气出气管4、尾气进气管3以及回收管6之间的通断阀。尾气出气管4、尾气进气管3以及回收管6可以并排排列，并通过两段管排7连通，从而可以在关闭进气阀31、排气阀41以及出料阀61时，对管路进行抽真空操作，实现清理的目的，同时也不会影响回收容器2中的物料；然而，在正常使用过程中，尾气出气管4、尾气进气管3以及回收管6应当彼此隔离，因此需要设置所述通断阀，即在正常使用过程中关闭所述通断阀，而在清理过程中可以打开所述通断阀。进一步地，尾气进气管3、尾气出气管4、回收管6以及管排7为金属软管或合金软管。所述金属软管或合金软管可以由碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等金属材料制成，但不能使用用铅、镁、锡、锌和铝，防止被三甲基镓腐蚀。另外，该回收容器2还包括隔板8，所述进气口和所述出气口形成于回收容器2的顶壁并分别位于隔板8的两侧，隔板8从所述顶壁的内壁面向下延伸以形成折返气道，使得尾气进气管3的尾气通过所述折返气道流动至所述尾气出气管4。隔板8的下边缘可以与回收容器2的底部间隔，折返气道用于延长尾气的行走路径，使尾气中的三甲基镓充分地降温转变为凝固态，提高回收率。...
【技术保护点】
一种三甲基镓尾气处理装置，其特征在于，该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2)，所述回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀(31)的尾气进气管(3)，所述出气口连接有带排气阀(41)的尾气出气管(4)，所述尾气出气管(4)连接于所述压力调节装置(5)，其中所述冷却装置(1)用于将所述回收容器(2)的温度冷却为小于三甲基镓的熔点，所述回收容器(2)还包括通过所述出料口插入到该回收容器(2)底部的回收管(6)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟，谢贤清，张志伟，马玉峰，江建峰，
申请(专利权)人：江西佳因光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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