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本实用新型公开了一种三甲基镓尾气处理装置以及制备系统，其中，该尾气处理装置包括压力调节装置(5)、冷却装置(1)和内置于该冷却装置(1)中的闭合回收容器(2)，回收容器(2)包括进气口、出气口以及出料口，所述进气口连接有带进气阀(31)的尾...
该专利属于江西佳因光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西佳因光电材料有限公司授权不得商用。

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