多晶硅生产尾气的处理方法技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅生产尾气的处理方法，包括以下步骤：a）将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯硅烷的第一气态产物；b）将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以吸收所述第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，得到混合液以及含有氮气和氢气的第二气态产物。根据本发明专利技术实施例的多晶硅生产尾气的处理方法，通过对尾气进行加压和冷却处理，可以得到液态的氯硅烷并将其回收利用；将第一气态产物通入吸收剂的水溶液中可以吸收第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，降低达标外排污水中的氯离子含量，杜绝土壤盐化，减少对周边环境影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
多晶硅生产过程中，由于生产需要，各个工序车间(包括氯硅烷提纯、还原尾气干法回收、冷氢化、氯硅烷罐区等)都不可避免的会外排一定量的尾气，从而产生大量的废气。特别是随着多晶硅规模快速扩张，厂区尾气量也随之激增，对其处理的必要性和难度都有所增加。多晶硅生产过程中产生的尾气的主要成分为氮气、氯化氢、氯硅烷和氢气。目前多晶硅厂的传统做法是将各车间尾气就近或汇总后进入尾气淋洗塔，用纯水或碱液将尾气中的氯化氢、氯硅烷等淋洗下来，氢气和氮气放空。然而使用此方法处理尾气，尾气中氯硅烷被淋洗，势必造成氯硅烷和氯化氢的浪费；淋洗过程需要耗用大量的纯水，无形中增加了多晶硅企业的综合成本。传统的纯水或碱液淋洗尾气过程中，氯硅烷水解产生氯化氢，氯化氢溶于水产生大量高盐分废水，这些废水处理不当会使外排废水中氯含量超标，对周边水环境造成污染，同时尾气·中的氯化氢不能被完全淋洗吸收，存在氯化氢无组织排放问题。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种用水量少、污染小且回收氯硅烷和氯离子、实现废气无害化增值的多晶硅生产尾气绿色环保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅生产尾气的处理方法，所述多晶硅生产尾气包括：氮气、氢气、氯化氢和气态的氯硅烷，所述氯硅烷包括：四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅，其特征在于，包括以下步骤：a）将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯硅烷的第一气态产物；b）将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以吸收所述第一气态产物中的氯化氢和氯硅烷，得到混合液以及含有氮气和氢气的第二气态产物。

【技术特征摘要】
1.一种多晶娃生产尾气的处理方法,所述多晶娃生产尾气包括:氮气、氢气、氯化氢和气态的氯硅烷，所述氯硅烷包括:四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅，其特征在于，包括以下步骤: a)将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯娃烧的第一气态产物； b)将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以吸收所述第一气态产物中的氯化氢和氯娃烧，得到混合液以及含有氮气和氢气的第二气态产物。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产尾气的处理方法，其特征在于，所述步骤a)中压力为0.3 0.9Mpa，冷却温度为-20 -45。。。3.根据权利要求1所述的多晶硅生产尾气的处理方...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志刚，严大洲，毋克力，肖荣晖，汤传斌，杨永亮，万烨，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：