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本发明公开了一种多晶硅生产尾气的处理方法，包括以下步骤：a）将所述多晶硅生产尾气进行加压和冷却处理，得到液态的氯硅烷和含有氮气、氢气、氯化氢以及未冷凝的氯硅烷的第一气态产物；b）将所述第一气态产物通入具有预定浓度的吸收剂的水溶液中进行反应以...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。

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