【技术实现步骤摘要】
本技术涉及烟气加热多晶硅氢化反应器进料系统,此系统用燃料燃烧烟气预热、汽化、加热氢化反应器所需的物料——STC、H2。属节能降耗技术。
技术介绍
目前国内厂商主流采用改良西门子法,生产过程中回产生大量副产品四氯化硅(STC)。目前国内大部分多晶硅生产厂为了降低能耗,减少成本选择冷氢化技术将四氯化硅氢化为三氯氢硅(TCS)。冷氢化在550℃的环境下进行反应,能耗相对较低,转化率较高,而且冷氢化设备一次投入成本相对低。冷氢化除单位能耗低之外,作为多晶硅生长所需主要原料之一的三氯氢硅,可在该工艺下的闭环生产内产生。当前冷氢化工艺,用蒸汽或导热油汽化STC,由于导热油温度为300℃,采用导热油居多。汽化后的STC用电加热至550℃~600℃和被电加热至相同温度的H2,按照一定的工艺配比进入氢化反应在催化剂的作用下发生反应。目前冷氢化工艺中氢化进料系统,需消耗较多的电能提升STC和H2的进料温度,耗能较高。STC汽化需要蒸汽或导热油公共介质,电加热STC气体和H2至550℃~600℃,系统布置相对较复杂,设备成本较大。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足,提供一种降低系统能耗、且系统流程简单,节约设备成本的烟气加热型多晶硅氢化进料系统。 本技术的目的是这样实现的:一种烟气加热型多晶硅氢化进料系统,所述系统包括STC预热器、STC蒸发器、STC过热器、混合器、氢化反应器、H2预热器和锅炉,所述锅炉烟气出口与H2预热器烟气进口连接,出H2预热器的烟气接入STC过热器,STC过热器烟气出口与STC蒸发器烟气进口连接 ...
【技术保护点】
一种烟气加热型多晶硅氢化进料系统,其特征在于所述系统包括STC预热器(1)、STC蒸发器(2)、STC过热器(3)、混合器(4)、氢化反应器(5)、H2预热器(6)和锅炉(7),所述锅炉(7)烟气出口与H2预热器(6)烟气进口连接,出H2预热器(6)的烟气接入STC过热器(3),STC过热器(3)烟气出口与STC蒸发器(2)烟气进口连接,出STC蒸发器(2)的烟气接入STC预热器(1);四氯化硅接入STC预热器(1),出STC预热器(1)的四氯化硅接入STC蒸发器(2),STC蒸发器(2)的四氯化硅出口与STC过热器(3)的四氯化硅进口连接;H2接入H2预热器(6),出H2预热器(6)的H2与出STC过热器(3)的四氯化硅一同进入混合器(4),出混合器(4)的四氯化硅和H2混合气接入氢化反应器(5)。
【技术特征摘要】
1.一种烟气加热型多晶硅氢化进料系统,其特征在于所述系统包括STC预热器(1)、STC蒸发器(2)、STC过热器(3)、混合器(4)、氢化反应器(5)、H2预热器(6)和锅炉(7),所述锅炉(7)烟气出口与H2预热器(6)烟气进口连接,出H2预热器(6)的烟气接入STC过热器(3),STC过热器(3)烟气出口与STC蒸发器(2)烟气进口连接,出STC蒸发器(...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙惺惺,李引平,董黎明,朱敏,臧国强,
申请(专利权)人:江苏双良新能源装备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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