一种多晶硅反应废弃物处理系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种多晶硅反应废弃物处理系统，该系统包括：废弃物输送管道、气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和碱液供给装置，通过将废弃物输送管道与气体输送管道和一级洗涤塔相连，借助惰性气体的压力，能够将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔，并利用碱液供给装置向一级洗涤塔输送碱液，洗淋多晶硅反应废弃物，可以有效吸收多晶硅反应废弃物中的氯硅烷和氯化氢，洗淋后生成的废液排入废液回收装置，更环保，更安全，另外，也能够减小对生产装置表面的腐蚀程度，降低生产投资成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种多晶硅反应废弃物处理系统，该系统包括：废弃物输送管道、气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和碱液供给装置，通过将废弃物输送管道与气体输送管道和一级洗涤塔相连，借助惰性气体的压力，能够将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔，并利用碱液供给装置向一级洗涤塔输送碱液，洗淋多晶硅反应废弃物，可以有效吸收多晶硅反应废弃物中的氯硅烷和氯化氢，洗淋后生成的废液排入废液回收装置，更环保，更安全，另外，也能够减小对生产装置表面的腐蚀程度，降低生产投资成本。【专利说明】一种多晶硅反应废弃物处理系统
本技术涉及多晶硅生产尾气处理
，特别是涉及一种维护设备、管路时所用的多晶硅反应废弃物处理系统。
技术介绍
在多晶硅生产过程中一般都会有废气、废液、废渣等废弃物产生，多晶硅生产系统会与相应的废弃物处理系统相连，随着多晶硅还原反应的进行，多晶硅反应废弃物即可由废弃物处理系统回收、处理。 在设备维护、拆卸时，为了确保人员的安全，需要将阀门、仪表、管道等设备中残留的多晶硅反应废弃物放尽，通常是向管道中通入惰性气体，利用吹扫接头，分步骤将设备或管道内的残留物吹扫干净。由于处理残留在设备中的多晶硅反应废弃物的操作过程与处理生产过程中的多晶硅反应废弃物的操作过程完全不同，因此，无法利用现有的废弃物处理系统处理残留在设备中的多晶硅反应废弃物。 通常，在设备维护、拆卸时，例如，临时拆卸维修、更换管道、仪表、阀门、设备等涉料作业时，处理残留在设备中的多晶硅反应废弃物，只能通过排气点或排液点就地对空排放。 多晶硅反应废弃物中含有氯硅烷、氢气、氯化氢等成分，其中，氯硅烷和氯化氢具有腐蚀性，对人体的眼睛和呼吸道粘膜有强烈刺激作用，将多晶硅反应废弃物直接对空排放，不但对人体健康存在安全威胁，腐蚀设备还污染环境。 因此，亟需一种多晶硅反应废弃物处理系统以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅反应废弃物处理系统，用以解决维护设备、管路时，多晶硅反应废弃物污染环境、威胁人体健康的问题。 为此，本技术采用如下技术方案: 本技术提供一种多晶硅反应废弃物处理系统，包括:用于输送多晶硅反应废弃物的废弃物输送管道、用于输送惰性气体的气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和用于向一级洗涤塔输送碱液的碱液供给装置； 废弃物输送管道分别与气体输送管道和一级洗涤塔相连，能够借助气体输送管道输送的惰性气体的压力，将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔； 一级洗涤塔分别与碱液供给装置和废液回收装置相连，能够利用碱液供给装置输送的碱液，洗淋排入一级洗涤塔的多晶硅反应废弃物，并将洗淋后生成的废液和废渣排入废液回收装置。 进一步的，所述系统还包括二级洗涤塔和送水管道，二级洗涤塔的顶部设置有排气口，送水管道与二级洗涤塔相连； 二级洗涤塔与一级洗涤塔通过剩余废弃物输送管道相连，并与废液回收装置相连，能够借助送水管道中的水，洗淋剩余废弃物输送管道输送的剩余废弃物，以及将洗淋所述剩余废弃物后生成的废液和废渣排入废液回收装置，并将所述惰性气体和剩余废弃物中无法洗淋的废气从排气口排空，所述剩余废弃物为一级洗涤塔内未能被全部洗淋而余下的多晶硅反应废弃物； 送水管道与二级洗涤塔相连的位置高于剩余废弃物输送管道与二级洗涤塔相连的位置，排气口的位置高于送水管道与二级洗涤塔相连的位置。 优选的，所述送水管道中的压力为0.4-0.6MPa。 优选的，在一级洗涤塔内，碱液供给装置与一级洗涤塔相连的位置设置有多个用于喷淋碱液的第一喷头，其中，各第一喷头朝不同的方向设置且各第一喷头分别与碱液供给装置相连； 在二级洗涤塔内，送水管道与二级洗涤塔相连的位置设置有多个用于喷水的第二喷头，其中，各第二喷头朝不同的方向设置且各第二喷头分别与送水管道相连。 优选的，所述废液回收装置设置于第一平台上，所述一级洗涤塔、二级洗涤塔和碱液供给装置设置于第二平台上，第一平台位于第二平台的下方。 优选的，所述第一平台为可移动的平台。 优选的，所述废液回收装置包括存储有液体的废液接收槽和坡度挡板，废液接收槽的侧壁设置有开口； 一级洗涤塔的底部设置有第一废液出口，二级洗涤塔的底部设置有第二废液出口，坡度挡板设置于第一废液出口和第二废液出口的下方，并与废液接收槽的侧壁上的开口相连，坡度挡板的两侧设置有侧堰，能够与第二平台形成密闭空间； 废液接收槽中液体的液面高于第一废液出口、第二废液出口和废液接收槽的侧壁上的开口。 进一步的，所述废液回收装置还包括渣浆泵，渣浆泵与废液接收槽相连，能够将废液接收槽中的废液输出至废液处理装置。 进一步的，所述废液回收装置还包括篮式过滤器；篮式过滤器包括:拉杆、挂钩和用于过滤废渣的过滤篮； 拉杆分别与过滤篮和挂钩相连，过滤篮设置于废液接收槽的底部靠近开口的位置，并位于所述液体的液面以下，挂钩位于所述液体的液面以上。 优选的，所述碱液供给装置包括:碱液泵和用于储存碱液的碱液储罐，碱液泵分别与碱液储罐和一级洗涤塔相连，能够将碱液储液罐中的碱液输送至一级洗涤塔。 本技术的多晶硅反应废弃物处理系统，通过将废弃物输送管道与气体输送管道和一级洗涤塔相连，借助惰性气体的压力，能够将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔，并利用碱液供给装置向一级洗涤塔输送碱液，洗淋多晶硅反应废弃物，可以有效吸收多晶硅反应废弃物中的氯硅烷和氯化氢，洗淋后生成的废液排入废液回收装置，更环保，更安全，另外，也能够减小对生产装置表面的腐蚀程度，降低生产投资成本。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术实施例提供的多晶硅反应废弃物处理系统的结构示意图。 图例说明: 1、废弃物输送管道2、气体输送管道3、一级洗涤塔 4、二级洗涤塔 5、送水管道6、剩余废弃物输送管道 7、第一平台 8、第二平台9、废液接收槽 10、坡度挡板 11、渣浆泵12、篮式过滤器 13、碱液泵 14、碱液储罐31、第一废液出口 41、排气口 42、第二废液出口91、开口 92、液面 121、拉杆122、挂钩 123、过滤篮 【具体实施方式】 为使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细描述。 以下结合图1详细说明本技术多晶硅反应废弃物处理系统的结构。该系统包括:废弃物输送管道1、气体输送管道2、一级洗涤塔3、废液回收装置和碱液供给装置，碱液供给装置用于向一级洗涤塔3输送碱液，气体输送管道2用于输送惰性气体。废弃物输送管道I用于向一级洗涤塔3输送多晶硅反应废弃物，其进口端通常是与多晶硅生产装置的尾气管道相连。多晶硅反应废弃物可以包括:氯硅烷、氯化氢、氢气等成分，不同的反应工艺条件下，氯硅烷的状态不同，通常可为气态或液态。 废弃物输送管道I分别与气体输送管道2和一级洗涤塔3相连，能够通过借助气体输送管道2输送的惰性气体的压力，将残留在废弃物输送管道I内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔3中。 优选的，惰性气体可以选用成本较低的氮气，氮气的压力可以为0.4-0.SMPa本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅反应废弃物处理系统，其特征在于，包括：用于输送多晶硅反应废弃物的废弃物输送管道、用于输送惰性气体的气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和用于向一级洗涤塔输送碱液的碱液供给装置；废弃物输送管道分别与气体输送管道和一级洗涤塔相连，能够借助气体输送管道输送的惰性气体的压力，将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔；一级洗涤塔分别与碱液供给装置和废液回收装置相连，能够利用碱液供给装置输送的碱液，洗淋排入一级洗涤塔的多晶硅反应废弃物，并将洗淋后生成的废液和废渣排入废液回收装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝霞，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：新疆;65