氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它将氯硅烷精馏提纯系统中产生的含有氯硅烷的废气经过换热器，用5-20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1-2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1-2公斤的压力和精馏塔釜温度在80-100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。本发明专利技术不影响系统的正常运行和产品的质量，最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。本发明专利技术在实际应用中氯硅烷精馏提纯系统中废气、废液中三氯氢硅和四氯化硅的再次回收率达到了80％以上，处理效果较好。

【技术实现步骤摘要】
氯硅烷精馏过程中氯硅烷废气、废液回收工艺
本专利技术涉及一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺。它可以最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。二、
技术介绍
传统多晶硅生产采用西门子法，该工艺流程为开路系统，原辅材料单耗指标高、综合回收差、能耗高。目前，国内大多采用西门子改良法制备多晶硅。该方法采用大型还原炉、SiHC13氢化和尾气干法回收工艺，可明显降低能耗和原辅材料的消耗，但是国内企业在三氯氢硅精馏方面普遍面临浪费问题，具体可分为以下问题1、精懼塔废液排放量难以控制,为了保证产品质量而致使废液量加大；2、精馏塔塔体压力波动，造成废气量的增加；3、废气、废液量的增加使得废气、废液回收处理单元的成本增加。三、
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，本专利技术可以最大限度的回收废气、废液中的三氯氢硅和四氯化硅，大幅度降低生产成本，同时大大降低了后续系统对废气、废液处理的难度。本专利技术的目的是这样来完成的氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷精馏提纯系统中含氯硅烷气体的废气、废液回收工艺，其特征在于：将氯硅烷精馏提纯系统中产生的废气经过换热器，用5?20M3/h，零下20℃的乙二醇作为冷冻源在1?2公斤的压力条件下将废气中的DCS、BCL3分离出去，将冷凝下来的氯硅烷液体和氯硅烷精馏提纯系统内产生的废液混合后送入筛板精馏塔，用蒸汽加热，在1?2公斤的压力和精馏塔釜温度在80?100℃的条件下将PCL3、ALCL3通过塔釜分离出去。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒯伟，王航舟，秦西鸣，宋安宁，郑斌，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：