一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备技术

技术编号:8482641 阅读:475 留言:0更新日期:2013-03-28 01:35
本发明专利技术属于用物理冶金技术提纯技术领域,特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备,在真空下电子束熔炼高磷硅料得到低磷硅熔体,将低磷硅熔体倒入凝固坩埚中凝固;重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序,直到凝固坩埚装满;将另一个空的凝固坩埚旋转至硅液倒料口下方,重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序,直到该凝固坩埚装满;重复上述装满凝固坩埚和旋转另一个空的凝固坩埚至硅液倒料口下方的工序,直至所有凝固坩埚装满,待所有凝固坩埚中低磷硅熔体凝固成铸锭后取出铸锭。该发明专利技术方法减少了多次熔炼的整体提纯时间,降低了抽真空和电子枪预热的次数,提高了生产效率,本发明专利技术的设备,结构紧凑,易于操作,安全可控,生产效率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于用物理冶金技术提纯多晶硅的
,特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的方法,另外还涉及其设备。
技术介绍
太阳能级多晶硅材料是最主要的光伏材料,它应用于太阳能电池,可以将太阳能转化为电能,在常规能源紧缺的今天,太阳能具有巨大的应用价值,近年来,全球太阳能光伏产业迅速增长,太阳能电池产量快速增加,直接拉动了多晶硅需求的急剧膨胀。但太阳能级多晶硅材料高昂的制造成本以及复杂的制造工艺是制约光伏产业大发展的瓶颈,严重阻碍了我国太阳能电池的推广和使用。我国能够自主生产的太阳能级多晶硅不足需求的5%,绝大部分原材料需要进口,开发适合我国国情的太阳能级多晶硅制备技术符合国家能源战略的要求,是我国光伏产业大发展的必由之路。为此,世界各国都在积极开发具有生产周期短、污染小、成本低、工艺相对简单、规模大小可控的制备高纯硅材料的新工艺方法,而冶金法由于具备以上优点,被认为是最能有效地降低多晶硅生产成本的技术之一,目前已成为世界各国竞相研发的热点。电子束熔炼技术是冶金法制备太阳能级多晶硅中重要的方法之一,它是利用高能量密度的电子束作为熔炼热源的工艺方法,一般的电子束熔炼方法是通过熔化块体硅料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法,其特征是:先在真空条件下使用电子束将熔炼坩埚中的高磷硅料加热至完全熔化成硅熔体,持续熔炼使硅熔体中挥发性杂质充分挥发得到低磷硅熔体,之后将低磷硅熔体通过硅液倒料口倾倒入凝固坩埚中进行凝固;倾倒完毕后将熔炼坩埚复原,向熔炼坩埚中添加高磷硅料,使用电子束熔炼提纯熔炼坩埚中的高磷硅料,待熔炼提纯完成后将低磷硅熔体倒入凝固坩埚中进行凝固,重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序,直到凝固坩埚装满;将另一个空的凝固坩埚旋转至硅液倒料口下方,重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序,直到该凝固坩埚装满;重复上述装满凝固坩埚和旋转另一个空的凝固坩埚至硅液倒料口下方的工序,直...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谭毅姜大川李坚之胡志刚安广野
申请(专利权)人:青岛隆盛晶硅科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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