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本发明属于用物理冶金技术提纯技术领域，特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备，在真空下电子束熔炼高磷硅料得到低磷硅熔体，将低磷硅熔体倒入凝固坩埚中凝固；重复上述装料、熔炼提纯和倾倒的工序，直到凝固坩埚装满；将另一个空的凝固坩埚旋转至硅...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。

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