应用于多晶硅提纯的氮化硅涂层回收方法技术

本发明专利技术属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅提纯的氮化硅涂层回收方法，使用过后的氮化硅涂层主要含有氮化硅、二氧化硅和少量杂质元素，首先利用离心机分离，去除大部分密度较小二氧化硅部分，再利用硝酸和氢氟酸的混合液可以将剩余的二氧化硅和少量杂质元素溶解，但几乎不与氮化硅反应，再经过蒸干和清洗后，经过干燥即可提纯出满足坩埚喷涂使用要求的高纯氮化硅粉体。本发明专利技术的优点在于（1）回收工艺简单可行，氮化硅粉体回收率高，可以达到50～70%；（2）按照使用过后的氮化硅涂层计算，回收可利用的氮化硅粉体价值为800～1500元/kg；（3）回收得到的氮化硅粉体中α氮化硅质量含量92%以上，N元素质量含量38%以上。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种，使用过后的氮化硅涂层主要含有氮化硅、二氧化硅和少量杂质元素，首先利用离心机分离，去除大部分密度较小二氧化硅部分，再利用硝酸和氢氟酸的混合液可以将剩余的二氧化硅和少量杂质元素溶解，但几乎不与氮化硅反应，再经过蒸干和清洗后，经过干燥即可提纯出满足坩埚喷涂使用要求的高纯氮化硅粉体。本专利技术的优点在于（1）回收工艺简单可行，氮化硅粉体回收率高，可以达到50～70%；（2）按照使用过后的氮化硅涂层计算，回收可利用的氮化硅粉体价值为800～1500元/kg；（3）回收得到的氮化硅粉体中α氮化硅质量含量92%以上，N元素质量含量38%以上。【专利说明】
本专利技术属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种。
技术介绍
目前，我国已成为世界能源生产和消费大国，但人均能源消费水平还很低。随着经济和社会的不断发展，我国能源需求将持续增长，针对目前的能源紧张状况，世界各国都在进行深刻的思考，并努力提高能源利用效率，促进可再生能源的开发和应用，减少对进口石油的依赖，加强能源安全。作为可再生能源的重要发展方向之一的太阳能光伏发电近年来发展迅猛，其所占比重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，侯振海，谭毅，胡志刚，姜大川，刘瑶，
申请(专利权)人：青岛隆盛晶硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：