【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于冶金提纯
,特别涉及一种诱导反向凝固提纯多晶硅的方法,另外还涉及其设备。
技术介绍
太阳能光伏产业的发展依赖于对硅原料的提纯,在对硅原料进行提纯的过程中, 定向凝固方法对去除硅原料中分凝系数非常小的金属杂质至关重要,是目前太阳能级多晶硅提纯的最有效的方法之一,此外,定向凝固技术广泛应用于冶金提纯。定向凝固是采用强制的手段在熔体中形成特定方向的温度梯度,使温度低的部位的熔体结晶成核,成为熔体凝固的起点首先凝固,由于温度梯度的存在,熔体沿着热流相反的方向凝固,获得具有特定取向的柱状晶。定向凝固提纯是利用杂质元素在熔体与固体中的溶解度不同,在凝固过程中分凝系数较小的杂质元素被推向固液界面前沿,在熔体中不断富集,最后在铸锭的尾部凝固,将铸锭尾部切除,即可达到提纯的目的。然而,铸锭在凝固尾声,杂质富集于坩埚顶部的熔体,在最后缓慢凝固过程中,杂质含量高的部位会向杂质含量低的部位扩散,使得硅纯度随着保温时间的延长而逐渐降低,这影响了提纯效果,且在这种情况下,切除的尾部废料高达259Γ35%,即成品率仅为65-75%,而硅锭的硬度比较大,需要大功率切割设备才 ...
【技术保护点】
一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法,其特征是:在真空环境中,将洗净的硅料加热至完全熔化形成硅熔体,保温后降温、垂直向下拉锭,进行定向凝固;待凝固完成80~90%时,转动坩埚(7)使上层剩余硅熔体在离心力的作用下向坩埚(7)侧壁聚集,同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体,使上层剩余硅熔体在气流的作用下从坩埚(7)中心向侧壁聚集并迅速反向凝固,最后在坩埚(7)侧壁处完全凝固;待整个硅锭冷却后取出,去除坩埚(7)侧壁凝固得到的上层铸锭,剩余的下层铸锭为高纯硅铸锭。
【技术特征摘要】
1.一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法,其特征是在真空环境中,将洗净的硅料加热至完全熔化形成硅熔体,保温后降温、垂直向下拉锭,进行定向凝固;待凝固完成80、0%时,转动坩埚(7)使上层剩余硅熔体在离心力的作用下向坩埚(7)侧壁聚集,同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体,使上层剩余硅熔体在气流的作用下从坩埚(7)中心向侧壁聚集并迅速反向凝固,最后在坩埚(7)侧壁处完全凝固;待整个硅锭冷却后取出,去除坩埚(7)侧壁凝固得到的上层铸锭,剩余的下层铸锭为高纯硅铸锭。2.根据权利要求I所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法,其特征是所采用方法的具体步骤如下 第一步前处理向坩埚(7)中添加坩埚体积9(Γ95%的洗净的硅料,之后开启真空泵组(14)将真空腔室(2)内的真空度抽到O. l-5Pa ; 第二步熔炼、凝固开启电源,利用感应线圈(5 )和石墨发热体(6 )将坩埚(7 )中的硅料加热到145(Tl650°C至完全熔化成硅熔体,并在此温度下保温3(T60min,垂直向下拉动水冷盘(12),使坩埚(7)中的硅熔体以O. l-2mm/min的速度垂直向下匀速运动,进行拉锭,硅熔体由坩埚(7)底部向顶部进行定向凝固,当硅熔体凝固到8(Γ90%,转动水冷盘(12),使坩埚(7)以3(T50r/min的速率匀速转动,同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体,上层剩余硅熔体在离心力和气流的双重作用下从坩埚(7)中心向侧壁聚集并迅速反向凝固,最后在坩埚(7)侧壁处完全凝固; 第三步后处理停止加热,待整个硅锭冷却后取出,去除坩埚(7)上层侧壁凝固得到的杂质富集的铸锭,剩余的下层铸锭为高纯硅铸锭,其纯度将达到99. 99%-99. 999%。3.根据权利要求I或2任一所述的一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜大川,安广野,石爽,谭毅,
申请(专利权)人:青岛隆盛晶硅科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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