下载一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法及设备的技术资料

文档序号:8447334

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本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种反向诱导凝固的方法及设备。该方法在真空环境中,将洗净的硅料加热至完全熔化定向凝固;待凝固完成80~90%时,转动坩埚使上层硅熔体在离心力的作用下向坩埚侧壁聚集,同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体...
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