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一种旋转和吹气诱导反向凝固提纯多晶硅的方法及设备技术
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文档序号:8447334
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本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种反向诱导凝固的方法及设备。该方法在真空环境中,将洗净的硅料加热至完全熔化定向凝固;待凝固完成80~90%时,转动坩埚使上层硅熔体在离心力的作用下向坩埚侧壁聚集,同时向上层剩余硅熔体顶端中心吹入惰性气体...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。
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