一种氯硅烷废液处理装置制造方法及图纸

一种氯硅烷废液处理装置，包括，废液反应罐、废液输送泵、尾气吸收塔、稀酸罐、稀酸循环泵；其特征在于，所述的废液反应罐下部通过输液管道，与废液输送泵的输入口连接；废液输送泵的输出口，有一支管接入中转池，还有一分支管，将剩余废液返回废液反应罐；所述废液反应罐的上部有一氯化氢输气管道与尾气吸收塔下部连通；稀酸循环泵的输出口通过管道接通尾气吸收塔；尾气吸收塔底部通过管道接通稀酸罐；稀酸罐通过管道与稀酸循环泵的输入口连接。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种氯硅烷废液处理装置，包括，氯硅烷废液与水进行水解反应的废液反应罐、将酸性废液输送至中转池的废液输送泵、用于氯化氢尾气的淋洗吸收的尾气吸收塔、储存稀酸的稀酸罐、以及输送喷淋液的稀酸循环泵；其中，废液反应罐下部通过输液管道，与废液输送泵的输入口连接；废液输送泵的输出口，有一支管接入中转池，还有一分支管，将剩余废液返回废液反应罐；所述废液反应罐的上部有一氯化氢输气管道与尾气吸收塔下部连通；稀酸循环泵的输出口通过管道接通尾气吸收塔；尾气吸收塔底部通过管道接通稀酸罐；稀酸罐通过管道与稀酸循环泵的输入口连接。本装置降低了多晶硅生产成本；不容易使设备堵塞，减少环境污染，并产生可利用的盐酸。【专利说明】一种氯硅烷废液处理装置
本技术涉及一种氯硅烷废液处理装置，属于多晶硅生产领域。
技术介绍
改良西门子法生产多晶硅的过程，主要是氯化氢和工业硅粉(粗硅)在高温下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行化学精制提纯，再经多级精馏提纯，提纯精馏后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD(化学气相沉淀法)反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产太阳能级与电子级多晶硅，在多晶硅生产过程中，三氯氢硅合成生产的粗制氯硅烷经过多级精馏提纯后，精馏塔塔釜会排出一部分杂质含量极高的氯硅烷废液。这部分氯硅烷废液很难处理，直接排放会造成严重的环境污染，目前，多晶硅企业多数采用碱液对氯硅烷废液进行无害化处理，主要是采用碱液与氯硅烷反应，产生硅酸钠、氯化钠和二氧化硅等无害物质，将反应后的液体进行酸碱中和处理，最后进行排放。例如专利202226742U，介绍了一种将氯硅烷残液送入洗涤塔中进行除杂，回收一部分氯硅烷，将无法回收的氯硅烷废液送入尾气洗涤塔，采用液碱淋洗处理。此种处理氯硅烷废液的方案，有以下缺点:(I)需要消耗液碱来处理氯硅烷废液，造成液碱消耗增大，增加了多晶硅生产成本。(2)使用碱液淋洗处理,会产生大量块状二氧化娃和氯化氢气体,尾气淋洗塔内如果不安装塔板或者填料，则淋洗效果变差，尾气吸收不充分，从而造成环境污染。如果塔内安装塔板或者填料，二氧化硅固体则很容易堵塞塔板或者填料，影响淋洗塔的运行效果。另夕卜，清理工作量大，并且存在一定的安全隐患。
技术实现思路
针对现有氯硅烷废液技术的缺陷，本技术的目的在于提供一种氯硅烷废液处理装置。本装置不用液碱，降低了多晶硅生产成本；不容易使设备堵塞，减少环境污染，并可生产一定量的可利用的盐酸，消除了一定的安全隐患。本技术所采用的技术方案是:一种氯硅烷废液处理装置，包括，废液反应罐、废液输送泵、尾气吸收塔、稀酸罐、稀酸循环泵；其中，废液反应罐下部通过输液管道，与废液输送泵的输入口连接；废液输送泵的输出口，有一支管接入中转池，还有一分支管，将剩余废液返回废液反应罐；所述废液反应罐的上部有一氯化氢输气管道与尾气吸收塔下部连通；稀酸循环泵的输出口通过管道接通尾气吸收塔；尾气吸收塔底部通过管道接通稀酸罐；稀酸罐通过管道与稀酸循环泵的输入口连接。进一步，所述的废液反应罐，设有氯硅烷废液的进口，顶部有进水喷头，水从喷头喷出，增大氯硅烷与水反应的接触面积；其中部有一搅拌器，保证氯硅烷废液与水充分混合反应。进一步，所述的废液输送泵，可将废液反应罐中水解反应产生的含二氧化硅固体的酸性废液输送至中转池。进一步，所述的尾气吸收塔中有三层筛板，筛板中间有两层填料，填料类型为鲍尔环，尾气吸收塔顶部有喷头，氯化氢气体在填料层与水充分接触，进行传质传热；尾气吸收塔顶部有喷头，保证水均匀喷淋到填料层。根据氯硅烷易水解的性质，将氯硅烷废液通入一台废液反应罐中进行水解反应，由于废液反应罐空间大，除了淋洗喷头外，无其他内部构件，因此反应产生的固体二氧化硅不容易堵塞设备。反应产生的氯化氢气体进入尾气吸收塔，吸收塔内有两层填料，通过喷淋可以有效的吸收尾气中的氯化氢气体，产生稀盐酸，通过稀酸循环泵将稀酸打入尾气淋洗塔内循环吸收氯化氢气体，提升盐酸浓度，当盐酸浓度达到外售标准则送入盐酸储罐。废液反应罐中产生的固体二氧化硅和酸性废水则送入废水处理系统处理。因此本装置不用液碱，降低了多晶硅生产成本；不容易使设备堵塞，减少环境污染，并产生一定量的可利用的盐酸，消除了一定的安全隐患。【专利附图】【附图说明】附图用于对本技术的进一步理解，和支持，并且构成说明书的一部分，与实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中:图1为本技术一种氯硅烷废液处理装置示意图；图中:1_废液反应罐2-废液输送泵3-尾气吸收塔4-稀酸罐5-稀酸循环泵。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作进一步详细的说明。图1为本技术一种氯硅烷废液处理装置示意图。如图1所示，一种氯硅烷废液处理装置，包括，用于氯硅烷废液与水在反应罐中进行水解反应的废液反应罐1、用于将废液反应罐I中水解反应产生的含二氧化硅固体的酸性废液输送至中转池的废液输送泵2、用于氯硅烷水解反应后氯化氢尾气的淋洗吸收的尾气吸收塔3、用于储存尾气吸收塔3产生的稀酸的稀酸罐4、以及用于尾气吸收塔3喷淋液的输送的稀酸循环泵5 ；其中，废液反应罐I下部通过输液管道，与废液输送泵2的输入口连接；废液输送泵2的输出口，有一支管接入中转池(图中未画)，还有一分支管，将剩余废液返回废液反应罐I ;所述废液反应罐I的上部有一氯化氢输气管道与尾气吸收塔3下部连通；稀酸循环泵5的输出口通过管道接通尾气吸收塔3 ;尾气吸收塔3底部通过管道接通稀酸罐4 ;稀酸罐4通过管道与稀酸循环泵5的输入口连接。进一步，所述的废液反应罐I，设有氯硅烷废液的进口，顶部有进水喷头，水从喷头喷出，增大氯硅烷与水反应的接触面积；其中部有一搅拌器，保证氯硅烷废液与水充分混合反应。进一步，所述的废液输送泵2，可将废液反应罐I中水解反应产生的含二氧化硅固体的酸性废液输送至中转池。进一步，所述的尾气吸收塔3中有三层筛板，筛板中间有两层填料，填料类型为鲍尔环，尾气吸收塔3顶部有喷头，氯化氢气体在填料层与水充分接触，进行传质传热；尾气吸收塔3顶部有喷头，保证水均匀喷淋到填料层。所述的氯硅烷废液处理过程是，将氯硅烷废液通入废液反应罐I中，与废液反应罐I中的水进行反应，反应产生的含氯化氢的尾气通过管道进入尾气吸收塔3，稀酸循环泵5将稀酸罐4中的稀酸打入尾气吸收塔3，与氯化氢尾气接触，将氯化氢吸收，同时循环提高稀酸罐4中盐酸浓度。废液反应罐I中氯硅烷废液水解反应后产生的含有二氧化硅固体的废液则送入废水处理系统处理。其步骤包括:①废液反应罐高度为2000mm，先向废液反应罐I内补水，保证废液反应罐液位800-1300_。在然后将氯硅烷废液排入废液反应罐I中，氯硅烷废液与废液反应罐I中的水发生水解反应。②废液反应罐I内安装一台搅拌器，将搅拌器打开，保证废液反应罐I中的氯硅烷废液与水充分反应，废液反应罐压力应低于0-50kpa，温度低于30-80°C。③氯硅烷水解反应放出的氯化氢气体一部分被废液反应罐中的水吸收，一部分通过尾气管道进入尾气吸收塔3中。④稀酸循环泵5将稀酸罐4中的稀酸打入尾气吸收塔3，通过尾气吸收塔3顶部的喷头向洗涤塔下部喷淋，与氯化氢尾气逆向接触，将氯化氢吸收，同时循环提高稀酸罐4中盐酸浓度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷废液处理装置，包括，废液反应罐、废液输送泵、尾气吸收塔、稀酸罐、稀酸循环泵；其特征在于，所述的废液反应罐下部通过输液管道，与废液输送泵的输入口连接；废液输送泵的输出口，有一支管接入中转池，还有一分支管，将剩余废液返回废液反应罐；所述废液反应罐的上部有一氯化氢输气管道与尾气吸收塔下部连通；稀酸循环泵的输出口通过管道接通尾气吸收塔；尾气吸收塔底部通过管道接通稀酸罐；稀酸罐通过管道与稀酸循环泵的输入口连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡光健，黄彬，银波，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：