【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产设备，具体是指一种84对棒多晶硅还原炉底盘。
技术介绍
1、改良西门子生产多晶硅是生产多晶硅料的主流成熟工艺：以高纯的sihcl3与高纯h2作为原料，在1050~1100℃的高纯硅芯表面发生气相沉积反应，硅芯在该工况下不断生成单质硅，最终得到高纯多晶硅棒产品，其中还原炉是该工艺的核心设备。
2、目前国际、国内应用最为成熟的炉型是24~40对棒的中小型还原炉，虽然也有少部分72对棒还原炉大炉型，但是由于72对棒还原炉的设计理念与40对棒等炉型差异较大，导致实际运行效果不理想（电耗高，产量低）。因此为解决上述问题，有必要开发一种与40对棒等同系列的大型的，高产节能的还原炉，并合理的进行底盘布置，充分利用热辐射，进一步降低还原炉运行电耗，提升国内多晶硅行业竞争力。鉴于以上，有必要提出一种84对棒多晶硅还原炉底盘来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种84对棒多晶硅还原炉底盘。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种84对棒多晶硅还原炉底盘，包括电极孔、进料喷嘴、尾气孔、底盘面板、底盘法兰，所述电极孔、进料喷嘴、尾气孔按设计要求分布在底盘上，与底盘法兰、底盘面板共同组合成还原炉底盘，底盘上两两成组设有84对电极组共设有168个电极孔位；所述电极孔呈同心圆状分布为沿底盘中心向外设置有6环电极孔，底盘最外圈设有8个尾气孔；底盘从内向外，设置6圈进料喷嘴。
3、进一步的，所述电极孔分别
4、进一步的，最外圈的电极孔与还原炉的炉筒内壁之间留有控温间距。
5、进一步的，所述控温间距为250～400mm。
6、进一步的，所述的6环电极孔从内向外，电极孔在各环的数量分别为：8、16、24、32、40、48。
7、进一步的，所述的6圈进料喷嘴，各圈的进料喷嘴从内向外设置数量分别为：1、4、8、16、16、16，合计61个进料喷嘴。
8、进一步的，同环之中，相邻两个电极孔的间距为230mm～280mm。
9、进一步的，同环之中，相邻两个电极孔的间距为235mm。
10、进一步的，所述尾气孔的直径为dn150或dn200，尾气管采用水冷夹套结构。
11、进一步的，各环的电极孔采用同圈的相邻两个电极孔的硅芯在顶端搭接。
12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：对还原反应过程中产生的各种热量进行整合，优化了炉内热场的分布，充分利用硅棒间的热辐射，有效提高还原炉单炉产能，降低电耗，提升品质；对还原反应过程中进料口布置进行了调整，结合每圈电极分布形式采用内圈均布，外圈集中分布，优化了反应过程中炉内的气场分布，有效提升产品品质，提高开车成功率。在以上优化前提下，提供一种稳定的大型多晶硅还原炉，从而大幅降低多晶硅生产成本，提高多晶硅产品品质。
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1.一种84对棒多晶硅还原炉底盘，包括电极孔（3）、进料喷嘴（4）、尾气孔（5）、底盘面板（2）、底盘法兰（1），所述电极孔（3）、进料喷嘴（4）、尾气孔（5）按设计要求分布在底盘上，与底盘法兰（1）、底盘面板（2）共同组合成还原炉底盘，其特征在于，底盘上两两成组设有84对电极组共设有168个电极孔（3）位；所述电极孔（3）呈同心圆状分布为沿底盘中心向外设置有6环电极孔（3），底盘最外圈设有8个尾气孔（5）；底盘从内向外，设置6圈进料喷嘴（4）。
2.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述电极孔（3）分别最外圈电极以及内圈电极，所述最外圈电极的相邻两个电极孔（3）间距即为S外，各个内圈电极之间的相邻两个电极孔（3）间距记为S内，所述S外小于S内。
3.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，最外圈的电极孔（3）与还原炉的炉筒内壁之间留有控温间距（6）。
4.根据权利要求3所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述控温间距（6）为250～400mm。
5.根据权利要求1所述的
6.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述的6圈进料喷嘴（4），各圈的进料喷嘴（4）从内向外设置数量分别为：1、4、8、16、16、16，合计61个进料喷嘴（4）。
7.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，同环之中，相邻两个电极孔（3）的间距为230mm～280mm。
8.根据权利要求7所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，同环之中，相邻两个电极孔（3）的间距为235mm。
9.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述尾气孔（5）的直径为DN150或DN200，尾气管采用水冷夹套结构。
...【技术特征摘要】
1.一种84对棒多晶硅还原炉底盘，包括电极孔（3）、进料喷嘴（4）、尾气孔（5）、底盘面板（2）、底盘法兰（1），所述电极孔（3）、进料喷嘴（4）、尾气孔（5）按设计要求分布在底盘上，与底盘法兰（1）、底盘面板（2）共同组合成还原炉底盘，其特征在于，底盘上两两成组设有84对电极组共设有168个电极孔（3）位；所述电极孔（3）呈同心圆状分布为沿底盘中心向外设置有6环电极孔（3），底盘最外圈设有8个尾气孔（5）；底盘从内向外，设置6圈进料喷嘴（4）。
2.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述电极孔（3）分别最外圈电极以及内圈电极，所述最外圈电极的相邻两个电极孔（3）间距即为s外，各个内圈电极之间的相邻两个电极孔（3）间距记为s内，所述s外小于s内。
3.根据权利要求1所述的一种84对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于，最外圈的电极孔（3）与还原炉的炉筒内壁之间留有控温间距（6）。
4.根据权利要求3所述的一种84...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛斌，李子林，
申请(专利权)人：江苏双良新能源装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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