【技术实现步骤摘要】
本技术涉及锗烷纯化
,特别是锗烷精馏系统。
技术介绍
锗烷是一种在半导体工业上有重要用途的危险性的气体,同时也是毒性很高的无色气体,长久以来,要怎样有效去除锗烷里面混合的水分和其他杂质一直没有一个很好的有效方法,然而在工业上对锗烷纯度的要求却是很高的。而且锗烷是一个很不稳定的气体,很容易就会有乙烷和丙锗烷产生,因此对于如何有效的去除锗烷内的杂质迫在眉睫。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种锗烷精馏系统,以满足锗烷去除杂质方法的空白,同时提高精馏的安全性、高效性和实用性。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本技术公开了锗烷精馏系统,锗烷精馏系统通过输配管道与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道、氦气管道相连,包括了杂质吸收塔组件、杂质吸收塔备用塔组件和反应组件,杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道和氦气管道相连,连接处设置有气动隔离阀组,杂质吸收塔组件与反应组件相连,杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件相互串联,杂质吸收塔备用塔组件底部通过输配管道经过过滤器与交流纯化系统相连。其中,杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件结构相同,顶部设置有填料口和压力表,底部设置有倒料口,杂质吸收塔备用塔组件底部设置有加热棒,杂质吸收塔备用塔组件的侧边设置有温度传感器。其中,反应组件包括了反应器、热交换器和冷凝器,反应器通过输配管道顺次与热交换器和冷凝器相连,冷凝器与杂质吸收塔组件相连。优选的,杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件为不锈钢材质制成。优选的,还包括有PLC控制组件,PLC控制组件通过信号线路与杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用 ...
【技术保护点】
锗烷精馏系统,所述的锗烷精馏系统通过输配管道与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道、氦气管道相连,其特征在于,包括了杂质吸收塔组件、杂质吸收塔备用塔组件和反应组件,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道和氦气管道相连,连接处设置有气动隔离阀组,所述的杂质吸收塔组件与反应组件相连,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件相互串联,所述的杂质吸收塔备用塔组件底部通过输配管道经过过滤器与交流纯化系统相连。
【技术特征摘要】
1.锗烷精馏系统,所述的锗烷精馏系统通过输配管道与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道、氦气管道相连,其特征在于,包括了杂质吸收塔组件、杂质吸收塔备用塔组件和反应组件,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件与真空泵组、尾气处理系统、氮气管道和氦气管道相连,连接处设置有气动隔离阀组,所述的杂质吸收塔组件与反应组件相连,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件相互串联,所述的杂质吸收塔备用塔组件底部通过输配管道经过过滤器与交流纯化系统相连。2.如权利要求1所述的锗烷精馏系统,其特征在于,所述的杂质吸收塔组件和杂质吸收塔备用塔组件结构相同,顶部设置有填...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈国富,胡超群,吴春弟,林志民,
申请(专利权)人:福建博纯材料有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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