磷烷尾气处理系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磷烷尾气处理
，特别是磷烷尾气处理系统。
技术介绍
磷烷是IC制造极为重要的原料，也是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，同时磷烷属于易燃易爆剧毒的气体，如果没有很好的处理好磷烷尾气，不但会对工厂周围的环境安全产生威胁，而且还会威胁到厂内工作人员的生命安全。因此对于如何有效的处理磷烷尾气，降低尾气带来的安全威胁是一个刻不容缓的技术难题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种磷烷尾气处理技术，以满足有效快速处理磷烷尾气的空白，同时，这项技术还可以提高处理过程的安全性以及有效性。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术公开了磷烷尾气处理系统，磷烷尾气处理系统与真空泵出口尾气管道和氮气管道相连，包括了磷烷面板尾气管道、一级处理罐、二级洗气塔、离心泵和离心风机，磷烷面板尾气管道与一级处理罐相连，一级处理罐通过输配管路与二级洗气塔相连，二级洗气塔通过离心泵与离心风机相连。其中，真空泵出口尾气管道和氮气管道分别与一级处理罐与二级洗气塔相连，一级处理罐与二级洗气塔相连的输配管路上设置有球阀和压力表，二级洗气塔内设置有喷淋头。优选的，一级处理罐是由PE塑料材质的制作，二级洗气塔由玻璃钢材质制作的。本技术具有以下有益效果：1.根据系统的整体结构对磷烷尾气处理系统的两级处理装置内放入不同浓度的高锰酸钾溶液，设置离心风机，离心泵，球阀，压力表的设计，从而使磷烷尾气的处理更加的彻底，更加的安全，更加的有效。2.经过精密合理的设计，同时可在二级洗气塔的顶部设置喷淋头，能对在一级处理罐中没有处理完全的尾气进行进一步的处理，使整个系统更加的完善和安全，同时在尾气的入口...
【技术保护点】
磷烷尾气处理系统，所述的磷烷尾气处理系统与真空泵出口尾气管道和氮气管道相连，其特征在于，包括了磷烷面板尾气管道、一级处理罐、二级洗气塔、离心泵和离心风机，所述的磷烷面板尾气管道与一级处理罐相连，所述的一级处理罐通过输配管路与二级洗气塔相连，所述的二级洗气塔通过离心泵与离心风机相连。
【技术特征摘要】
1.磷烷尾气处理系统，所述的磷烷尾气处理系统与真空泵出口尾气管道和氮气管道相连，其特征在于，包括了磷烷面板尾气管道、一级处理罐、二级洗气塔、离心泵和离心风机，所述的磷烷面板尾气管道与一级处理罐相连，所述的一级处理罐通过输配管路与二级洗气塔相连，所述的二级洗气塔通过离心泵与离心风机相连。2.如权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，胡超群，吴春弟，林志民，
申请(专利权)人：福建博纯材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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