提供一种用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，包括缓冲罐，缓冲罐的进口与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接，缓冲罐的出口通过管道Ⅰ与淋洗塔连通，淋洗塔通过管道Ⅱ与一级降膜吸收器连通，一级降膜吸收器通过气相管Ⅰ和液相管Ⅰ与二级降膜吸收器连通，二级降膜吸收器通过气相管Ⅱ和液相管Ⅱ与三级降膜吸收器连通，三级降膜吸收器通过气相管Ⅲ和液相管Ⅲ与尾气喷淋塔连通，一级降膜吸收器还与浓酸储槽连接。本实用新型专利技术将氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽内存储，保证多晶硅生产的连续运行，提高氯化氢的利用率，浓度满足使用要求，减少环境污染，降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术属多晶硅制造
，具体涉及一种用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置。
技术介绍
多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等产品的关键基础材料，是发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石。在多晶硅生产过程中，利用⑶I技术分离提纯还原和转化出来的尾气，将尾气中的氯化氢、氢气和氯硅烷分离并分别返回系统中重新再利用。在正常情况下，分离产生的纯度为99%的氯化氢送至TCS合成单元作为原料使用，但由于技术和设备的原因，尤其是当TCS合成出现故障时，这部分高纯的氯化氢被作为废气直接排掉，而这种方式一方面会造成资源的浪费，使整个系统的氯耗增加，另一方面也会对环境造成严重污染，威胁人身健康。因此有必要提出改进。
技术实现思路
本技术解决的技术问题:提供一种用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，将氯化氢气体在多级降膜吸收器内与水或稀盐酸进行多级循环吸收增浓，实现了回收氯化氢并用其制取盐酸的目的，既保障多晶硅生产中还原、转化和尾气回收单元的正常运行，又能提高氯化氢的回收利用率，减少对环境的污染，降低生产成本。本技术采用的技术方案:用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，包括缓冲罐，所述缓冲罐的进口与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接，所述缓冲罐的出口通过管道I与淋洗塔连通，所述淋洗塔通过管道II与一级降膜吸收器连通，所述一级降膜吸收器通过气相管I和液相管I与二级降膜吸收器连通，所述二级降膜吸收器通过气相管II和液相管II与三级降膜吸收器连通，所述三级降膜吸收器通过气相管III和液相管III与尾气喷淋塔连通，所述一级降膜吸收器还与浓酸储槽连接，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽内存储，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收后的尾气从尾气喷淋塔的顶部排放。其中，所述淋洗塔通过管线连接有喷淋栗。进一步地，所述一级降膜吸收器底部设有浓酸中间槽，所述一级降膜吸收器和浓酸中间槽之间通过管道连接有浓酸循环栗和循环水换热器，所述浓酸循环栗的出口通过外排阀与浓酸储槽连通。进一步地，所述尾气喷淋塔的底部设有稀酸中间槽，所述稀酸中间槽和尾气喷淋塔之间通过管道连接有稀酸循环栗，所述尾气喷淋塔通过气相管III与三级降膜吸收器的顶部连通，所述尾气喷淋塔底部通过两支液相管III (604)分别与稀酸中间槽和三级降膜吸收器连通。进一步地，所述尾气喷淋塔与三级降膜吸收器相连接的液相管III上设有控制阀。本技术与现有技术相比的优点:1、本技术将多晶硅生产中排出的氯化氢气体通过多级降膜吸收器进行多级循环吸收增浓，实现了高效率回收氯化氢并将其制取盐酸的目的，保障多晶硅生产中还原、转化和尾气回收单元的正常运行，提高氯化氢的回收利用率，减少环境污染，降低生产成本；2、利用缓冲罐对氯化氢气体起到暂存和缓冲的作用；3、在淋洗塔上连接喷淋栗，可使淋洗塔内的喷淋水循环喷淋使用；4、在一级降膜吸收器和浓酸中间槽设循环水换热器，使浓酸循环栗输送出的喷淋水进行降温，移走氯化氢气体溶解放出的热量，提高氯化氢在水中的溶解度；5、本技术中喷淋水是在重力流的作用下，依次从尾气喷淋塔、三级降膜吸收器、二级降膜吸收器和一级降膜吸收器逐渐吸收增浓，最后进入浓酸储槽储存使用，从而降低整个系统的能耗。【附图说明】图1为本技术的结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图1描述本技术的实施例。用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，包括缓冲罐1，所述缓冲罐I的进口 101与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接，利用缓冲罐I对氯化氢气体起到暂存和缓冲的作用，所述缓冲罐I的出口 102通过管道I 103与淋洗塔2连通，其中，所述淋洗塔2上连接有喷淋栗201，淋洗塔2中的喷淋水通过喷淋栗201循环喷淋使用；所述淋洗塔2通过管道II 202与一级降膜吸收器3连通，所述一级降膜吸收器3与浓酸储槽7连接，具体的，所述一级降膜吸收器3底部设有浓酸中间槽301，所述一级降膜吸收器3和浓酸中间槽301之间通过管道连接有浓酸循环栗302和循环水换热器303，所述浓酸循环栗302的出口通过外排阀701与浓酸储槽7连通，其中，循环水换热器303使浓酸循环栗302输送出的喷淋水进行降温，移走氯化氢气体溶解放出的热量，提高氯化氢在水中的溶解度；所述一级降膜吸收器3通过气相管I 304和液相管I 401与二级降膜吸收器4连通，所述二级降膜吸收器4通过气相管II 402和液相管II 501与三级降膜吸收器5连通，所述三级降膜吸收器5通过气相管III 502和液相管III 604与尾气喷淋塔6连通，具体的，所述尾气喷淋塔6的底部设有稀酸中间槽601，所述稀酸中间槽601和尾气喷淋塔6之间通过管道连接有稀酸循环栗602，所述尾气喷淋塔6通过气相管III 502与三级降膜吸收器5的顶部连通，所述尾气喷淋塔6底部通过两支液相管III 604分别与稀酸中间槽601和三级降膜吸收器5连通，所述尾气喷淋塔6与三级降膜吸收器5相连接的液相管III 604上设有控制阀603。本技术对氯化氢气体进行回收的过程:上游多晶硅生产中产生的氯化氢气体经气体管道进入缓冲罐1，经缓冲罐I缓存后进入淋洗塔2，氯化氢气体在淋洗塔2内部与经喷淋栗201循环当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：包括缓冲罐(1)，所述缓冲罐(1)的进口(101)与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接，所述缓冲罐(1)的出口(102)通过管道Ⅰ(103)与淋洗塔(2)连通，所述淋洗塔(2)通过管道Ⅱ(202)与一级降膜吸收器(3)连通，所述一级降膜吸收器(3)通过气相管Ⅰ(304)和液相管Ⅰ(401)与二级降膜吸收器(4)连通，所述二级降膜吸收器(4)通过气相管Ⅱ(402)和液相管Ⅱ(501)与三级降膜吸收器(5)连通，所述三级降膜吸收器(5)通过气相管Ⅲ(502)和液相管Ⅲ(604)与尾气喷淋塔(6)连通，所述一级降膜吸收器(3)还与浓酸储槽(7)连接，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽(7)内存储，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收后的尾气从尾气喷淋塔(6)的顶部排放。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：涂夏明，张辉，屈杰，陈斌，寇文勇，张俊峰，
申请(专利权)人：陕西天宏硅材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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