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本实用新型公开了一种氢化炉，包括炉筒（１）、底盘（２）、电极组件（３）、加热器（４）、保温罩（５）、设备支撑架（６）、出气口（８）和混合气进口（９）；其中炉筒（１）与底盘（２）连接在一起；炉筒（１）内部有加热器（４）和保温罩５；加热器（４）...该专利属于四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司授权不得商用。