一种布袋除尘装置及其系统制造方法及图纸

技术编号:5959277 阅读:184 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种布袋除尘装置及其系统,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11)。该布袋除尘装置能将气汽混合物所夹带的百分之九十以上的硅粉除去,大幅度降低了进入湿法除尘的气汽混合物中所含硅粉,使后续喷淋四氯化硅的循环系统以及精馏分离系统能正常运行。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅领域,尤其是用于多晶硅生产过程中的布袋除尘装 置及系统。
技术介绍
由三氯氢硅合成炉合成的氯硅烷气汽混合物,经干法除尘、湿法除尘后, 送至精馏塔进行精馏分离。旋风分离千法除尘主要是除去大颗粒的硅粉,原工 艺经过旋风除尘工序后,仍然含有大量的细硅粉,将与四氯化硅形成固液混合 体,硅粉容易在系统设备、管道中沉积,从而淤塞管道、设备、泵,以及对分 离塔釜、塔柱造成严重的淤塞,无法正常运行,造成系统非正常停车。
技术实现思路
本技术的目的在于为除去合成的氯硅烷气汽混合物带出细微硅粉,为 此提供一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道l、吹扫氮气进口管道2、压力表3、滤布4、氯硅烷气汽混合物进口管道5、蒸汽进气口 6、硅渣排出管道7、蒸汽出气口 8和过滤器筒体9、压力表10和钢板11。氯硅烷气汽混合物出口管道1、吹扫氮气进口管道2和压力表IO在过滤器 筒体9的顶部。压力表10用于测量筒体9内部压力。筒体9外部有一层夹套,压力表3用于测量夹套里的蒸汽压力。钢板11 固定在筒体9的内部,用于固定滤布4。滤布4用于过滤硅粉。氯硅烷气汽混合物由管道5进入筒体9内部,经滤布4过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11);    其中氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)和压力表(10)在过滤器筒体(9)的表面;其中筒体(9)外部有一层夹套;    钢板(11)固定在筒体(9)的内部,用于固定滤布(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张惠国黎展荣屈敏王岭
申请(专利权)人:四川新光硅业科技有限责任公司四川新光多晶硅工程技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]

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