【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅领域,尤其是用于多晶硅生产过程中的布袋除尘装 置及系统。
技术介绍
由三氯氢硅合成炉合成的氯硅烷气汽混合物,经干法除尘、湿法除尘后, 送至精馏塔进行精馏分离。旋风分离千法除尘主要是除去大颗粒的硅粉,原工 艺经过旋风除尘工序后,仍然含有大量的细硅粉,将与四氯化硅形成固液混合 体,硅粉容易在系统设备、管道中沉积,从而淤塞管道、设备、泵,以及对分 离塔釜、塔柱造成严重的淤塞,无法正常运行,造成系统非正常停车。
技术实现思路
本技术的目的在于为除去合成的氯硅烷气汽混合物带出细微硅粉,为 此提供一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道l、吹扫氮气进口管道2、压力表3、滤布4、氯硅烷气汽混合物进口管道5、蒸汽进气口 6、硅渣排出管道7、蒸汽出气口 8和过滤器筒体9、压力表10和钢板11。氯硅烷气汽混合物出口管道1、吹扫氮气进口管道2和压力表IO在过滤器 筒体9的顶部。压力表10用于测量筒体9内部压力。筒体9外部有一层夹套,压力表3用于测量夹套里的蒸汽压力。钢板11 固定在筒体9的内部,用于固定滤布4。滤布4用于过滤硅粉。氯硅烷气汽混合物由管道5进入筒体 ...
【技术保护点】
一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11); 其中氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)和压力表(10)在过滤器筒体(9)的表面;其中筒体(9)外部有一层夹套; 钢板(11)固定在筒体(9)的内部,用于固定滤布(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张惠国,黎展荣,屈敏,王岭,
申请(专利权)人:四川新光硅业科技有限责任公司,四川新光多晶硅工程技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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