本实用新型专利技术公开了一种布袋除尘装置及其系统,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11)。该布袋除尘装置能将气汽混合物所夹带的百分之九十以上的硅粉除去,大幅度降低了进入湿法除尘的气汽混合物中所含硅粉,使后续喷淋四氯化硅的循环系统以及精馏分离系统能正常运行。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅领域,尤其是用于多晶硅生产过程中的布袋除尘装 置及系统。
技术介绍
由三氯氢硅合成炉合成的氯硅烷气汽混合物,经干法除尘、湿法除尘后, 送至精馏塔进行精馏分离。旋风分离千法除尘主要是除去大颗粒的硅粉,原工 艺经过旋风除尘工序后,仍然含有大量的细硅粉,将与四氯化硅形成固液混合 体,硅粉容易在系统设备、管道中沉积,从而淤塞管道、设备、泵,以及对分 离塔釜、塔柱造成严重的淤塞,无法正常运行,造成系统非正常停车。
技术实现思路
本技术的目的在于为除去合成的氯硅烷气汽混合物带出细微硅粉,为 此提供一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道l、吹扫氮气进口管道2、压力表3、滤布4、氯硅烷气汽混合物进口管道5、蒸汽进气口 6、硅渣排出管道7、蒸汽出气口 8和过滤器筒体9、压力表10和钢板11。氯硅烷气汽混合物出口管道1、吹扫氮气进口管道2和压力表IO在过滤器 筒体9的顶部。压力表10用于测量筒体9内部压力。筒体9外部有一层夹套,压力表3用于测量夹套里的蒸汽压力。钢板11 固定在筒体9的内部,用于固定滤布4。滤布4用于过滤硅粉。氯硅烷气汽混合物由管道5进入筒体9内部,经滤布4过滤后,通过孔12 由管道1进入下一个工序。吹扫氮气由进口管道2进入筒体9内部,将滤布4上的硅渣带到硅渣排出管道7,使硅渣进入后一步处理工序。蒸汽由进气口 6进入夹套,由出气口 8排出,通过蒸汽循环给筒体9保温。 为了取得更好的过滤效果,滤布可以采用多层,比如2-9层,优选3层。 本技术中的布袋除尘装置能将气汽混合物所夹带的百分之九十以上的硅粉除去,大幅度降低了进入湿法除尘的气汽混合物中所含硅粉,使后续喷淋四氯化硅的循环系统以及精馏分离系统能正常运行,不产生硅粉堵塞阀门、管道等情况。本技术还提供一除尘系统,该系统包括两套上述布袋除尘装置,两套 布袋除尘装置并联在一起,通过阀门的开关对两套装置进行切换, 一开一备, 一套装置处于工作状态时,对另一套装置进行吹扫操作,定期切换工作状态, 以确保布袋过滤的硅粉沉积较少。附图说明本技术将通过例子并参照附图的方式说明,其中 图1是袋除尘器示意图。具体实施方式本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互 相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征,除 非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非 特别叙述,每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。图1为本技术的布袋除尘装置,该布袋除尘 置包括氯硅烷气汽混合 物出口管道l、吹扫氮气进口管道2、压力表3、滤布4、氯硅烷气汽混合物进 口管道5、蒸汽进气口 6、硅渣排出管道7、蒸汽出气口 8和过滤器筒体9、压力表10和钢4反11。氯硅烷气汽混合物出口管道1 、吹扫氮气进口管道2和压力表10在过滤器 筒体9的顶部。压力表10用于测量筒体9内部压力。筒体9外部有一层夹套,压力表3用于测量夹套里的蒸汽压力。钢板11 固定在筒体9的内部,用于固定滤布4。滤布4用于过滤硅粉。氯硅烷气汽混合物由管道5进入筒体9内部,经滤布4过滤后,通过孔12 由管道1进入下一个工序。吹扫氮气由进口管道2进入筒体9内部,将滤布4上的硅渣带到硅渣排出 管道7,使硅渣进入后一步处理工序。蒸汽由进气口 6进入夹套,由出气口 8排出,通过蒸汽循环给筒体9保温。为了取得更好的过滤效果,滤布可以采用多层,比如2-9层,优选3层。本技术中的布袋除尘装置能将气汽混合物所夹带的百分之九十以上 的硅粉除去,大幅度降低了进入湿法除尘的气汽混合物中所含硅粉,使后续喷 淋四氯化硅的循环系统以及精馏分离系统能正常运行,不产生硅粉堵塞阀门、 管道等情况。除尘系统,该系统包括两套布袋除尘装置,两套布袋除尘装置并联在一起, 通过阀门的开关对两套装置进行切换, 一开一备, 一套装置处于工作状态时, 对另一套装置进行吹扫操作,定期切换工作状态,以确保布袋过滤的硅粉沉积 较少。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术, 凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应 包含在本技术的保护范围之内。权利要求1、一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11);其中氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)和压力表(10)在过滤器筒体(9)的表面;其中筒体(9)外部有一层夹套;钢板(11)固定在筒体(9)的内部,用于固定滤布(4)。2、 如权利要求1所述的布袋除尘装置,其特征在于所述滤布(4)釆用 多层。3、 如权利要求l所述的布袋除尘装置,其特征在于所述滤布(4)釆用3层。4、 一除尘系统,该系统包括两套如权利要求l-3之一所述的布袋除尘装 置,两套布袋除尘装置并联在一起,通过阀门的开关对两套装置进行切换。专利摘要本技术公开了一种布袋除尘装置及其系统,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11)。该布袋除尘装置能将气汽混合物所夹带的百分之九十以上的硅粉除去,大幅度降低了进入湿法除尘的气汽混合物中所含硅粉,使后续喷淋四氯化硅的循环系统以及精馏分离系统能正常运行。文档编号B01D46/02GK201423220SQ20082022335公开日2010年3月17日 申请日期2008年12月12日 优先权日2008年12月12日专利技术者敏 屈, 张惠国, 岭 王, 黎展荣 申请人:四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种布袋除尘装置,该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)、压力表(3)、滤布(4)、氯硅烷气汽混合物进口管道(5)、蒸汽进气口(6)、硅渣排出管道(7)、蒸汽出气口(8)和过滤器筒体(9)、压力表(10)和钢板(11); 其中氯硅烷气汽混合物出口管道(1)、吹扫氮气进口管道(2)和压力表(10)在过滤器筒体(9)的表面;其中筒体(9)外部有一层夹套; 钢板(11)固定在筒体(9)的内部,用于固定滤布(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张惠国,黎展荣,屈敏,王岭,
申请(专利权)人:四川新光硅业科技有限责任公司,四川新光多晶硅工程技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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