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本实用新型公开了一种布袋除尘装置及其系统，该装置包括氯硅烷气汽混合物出口管道（１）、吹扫氮气进口管道（２）、压力表（３）、滤布（４）、氯硅烷气汽混合物进口管道（５）、蒸汽进气口（６）、硅渣排出管道（７）、蒸汽出气口（８）和过滤器筒体（９）、...该专利属于四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司授权不得商用。