一种硅片脱胶机制造技术

本发明专利技术涉及一种硅片脱胶机，该硅片脱胶机的滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。采用发明专利技术，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式，控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硅片脱胶机。
技术介绍
在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片传统采用手工进行脱胶，因 脱胶过程中对力度、温度掌握不均勻，且不稳定，易出现硅片崩边、毛边、氧化等现象，产生 废片。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能减少硅片在脱胶过程中产生崩边、毛边、氧化现象的一种 硅片脱胶机。本专利技术采取的技术方案是一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、上滑动轨道、下滑 动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在 于上滑动轨道、下滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提 升机通过纲绳和定滑轮与上滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定 设置在上滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在脱胶槽的下部，与下 滑动轨道连接在一起。采用本专利技术，可以通过加热管保持脱胶槽内的水恒温，而且采用机械化操作方式， 控制稳定，减少硅片在脱胶过程中产生的崩边、毛边、氧化现象，提高成品率。附图说明图1是本专利技术的主视示意图。图2是本专利技术的侧视示意图。具体实施例方式下面结合具体的实施例对本专利技术作进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片脱胶机，它包括直立轨道、滑动轨道、导向轮、脱胶槽、硅片盒、提升机、加热管、定滑轮、纲绳和偏心轮及组件，其特征在于滑动轨道通过导向轮活动设在直立轨道上；定滑轮固定在直立轨道上，提升机通过纲绳和定滑轮与滑动轨道相连接；硅片盒位于脱胶槽内，脱胶槽和硅片盒固定设置在滑动轨道上；脱胶槽内安装有加热管；偏心轮及组件设置在滑动轨道的下部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐增宏，王土军，余城伟，
申请(专利权)人：浙江硅宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：33[中国|浙江]