【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒。
技术介绍
目前，直拉单晶炉内的埚转主轴，主轴及轴承是长长的深洞(孔)结构，轴承受沾污后，很难清理。通常情况下，要把埚转主轴从炉体上拆卸下来。再擦拭清洁后，重新安装到单晶炉上。这样的操作工序，时间长，程序繁琐，效率低下。
技术实现思路
本技术的目的是提供可以直接对埚转主轴进行擦拭吸尘的一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒。本技术采取的技术方案是一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，其特征在于在前端套筒的端口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。采用本技术，无需将埚转主轴从单晶炉体上拆卸下来，而可以直接对埚转主轴进行清洁，这样达至简便、及时、高效的目的。附图说明图I是本技术的示意图。图中序号表不后端套筒I、如端套筒2、清洁布料3和如端端口 4。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图I、该单晶炉埚转主轴的清洁套筒分成前端套筒2和后端套筒1，前端套筒2和后端套筒I的内部中空，在前端套筒I的端口处设置有清洁布料3，清洁布料3不能封闭前端端口 4，前端端口 4应敞开。使用时，只要将后端套筒I连接在吸尘器的吸管上，并将前端套筒I伸入单晶炉的埚转主轴中，即可利用清洁布料3进行擦拭，并通过敞开的前端端口4吸尘，达到无需将埚转主轴从单晶炉体上拆卸下来，而可以直接对埚转主轴进行清洁的目的。权利要求1.一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，其特征在于在前端套筒的端 口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。专利摘要本技术涉及一种单晶炉埚转主轴的清...
【技术保护点】
一种单晶炉埚转主轴的清洁套筒，分成前端套筒和后端套筒，前端套筒和后端套筒的内部中空，其特征在于在前端套筒的端口处设置有清洁布料，且前端端口敞开。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：方明游，徐增宏，
申请(专利权)人：浙江硅宏电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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