直拉单晶炉热场升降装置制造方法及图纸

技术编号:8117192 阅读:216 留言:0更新日期:2012-12-22 08:08
本实用新型专利技术涉及一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。本实用新型专利技术结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升和下降,从而实现增加初始投料量的目的,提高生产效率。此外,本实用新型专利技术提及装置不仅限于硅单晶热场的升降,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场升降。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉硅单晶炉的配件设计及制造
,特别是ー种直拉硅单晶炉热场升降装置。
技术介绍
切氏直拉(Czochralski)法是制备硅单晶的主要方法之一。硅单晶炉设有ー套热场来控制炉内的温度。在单晶拉制过程中,热场一般是固定不动的。仅当单晶生长完毕打开炉盖以后才能进行拆卸。在实际生产中,对于相同尺寸的坩埚和固定的热场,初始投料量是一定的。但硅熔化完毕后,硅液的体积比固态硅的体积小,因此还有继续投料的空间。这可以通过在装料时将热场抬起,当硅料完全融化时再将热场放下。但由于热场固定,空间有限,无法增加初始投料量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种直拉硅单晶炉热场升降装置,用以解决初始投料量小的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。为了增加钢丝绳运动的流畅性,降低钢丝绳的磨损,本技术所述的绞轮由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接装置。进ー步的说,本技术所述的连接装置为杆或钢索。为了能够平稳的调节热场的升降以及水平,甭使用新型所述的绞轮、连接装置以及定位器有3飞组。本技术的有益效果是,解决了
技术介绍
中存在的缺陷,该装置结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升和下降,从而实现增加初始投料量的目的,提高生产效率。此外,本技术提及装置不仅限于硅单晶热场的升降,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场升降。以下结合附图和实施例对本技术进ー步说明。图I是本技术的优选实施例的结构示意图;图中1、铰轮,2、连接杆,3、定位器,4、炉盖,5、热场。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进ー步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。如图I所示的一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮I、连接杆2以及定位器3组成的3组,所述的绞轮I焊接在炉盖4上,绞轮I连接连接杆2,连接杆2穿过炉盖4和热场5的上沿与热场压环下方的定位器3连接。绞轮I由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接杆,由于该结构是常规结构,所以图中并没有做出示意。图中的三个定位器可以用来固定热场,同时调节水平。在装料前,将热场通过连接杆使用定位器固定并调节水平。当装料完毕,将热场提升到高于硅料上平面,关闭炉盖。当硅料完全熔化时,将热场缓缓下降至与石墨加热器牢固接触。 以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式,各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制,所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形,而不背离技术的实质和范围。权利要求1.一种直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。2.如权利要求I所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于所述的绞轮由两个以上的滑轮组成,绞轮上缠绕连接装置。3.如权利要求I所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于所述的连接装置为杆或钢索。4.如权利要求I所述的直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于所述的绞轮、连接装置以及定位器有3飞组。专利摘要本技术涉及一种直拉单晶炉热场升降装置,包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。本技术结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升和下降,从而实现增加初始投料量的目的,提高生产效率。此外,本技术提及装置不仅限于硅单晶热场的升降,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场升降。文档编号C30B29/06GK202610380SQ20122020172公开日2012年12月19日 申请日期2012年5月7日 优先权日2012年5月7日专利技术者徐胜, 杨生凯 申请人:常州顺风光电材料有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种直拉单晶炉热场升降装置,其特征在于:包括由绞轮、连接装置以及定位器组成的多组,所述的绞轮焊接在炉盖上,绞轮连接连接装置,连接装置穿过炉盖和热场的上沿与热场压环下方的定位器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐胜杨生凯
申请(专利权)人:常州顺风光电材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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