电动真空连续投料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种电动真空连续投料装置，包括移动式升降机；所述的移动式升降机的立柱上设置有上下移动的机械臂；所述的机械臂上放置料罐；所述的料罐连接直线导入机；直线导入机上设置有驱动电机；所述的直线导入机具有导入管；所述的导入管插入单晶炉内；所述的导入管顶部设置有真空阀；真空阀通过链条环锁固定；所述的移动式升降机的底部设置有控制装置和另一个驱动电机；控制装置分别控制两个驱动电机的启停。本实用新型专利技术在炉内剩余1/3液体时提前收尾后添加碎料进行再次化料；只要晶棒拉制无断棱情况可反复多次进行加料，减少了冷却清装时间，降低了石英坩埚单耗。

【技术实现步骤摘要】
电动真空连续投料装置
本技术涉及一种晶硅生产工装，尤其是一种电动真空连续投料装置。
技术介绍
现有的晶体硅连续生长大多采用二次投料方式，这种方式的缺陷在于会增加石英坩埚的生产单耗，并且在加料过程中会产生卡壳现象。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种电动真空连续投料装置，可多次增加单晶炉有效投料量来降低石英坩埚的生产单耗，提高单炉产能。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电动真空连续投料装置，包括移动式升降机；所述的移动式升降机的立柱上设置有上下移动的机械臂；所述的机械臂上放置料罐；所述的料罐连接直线导入机；直线导入机上设置有驱动电机；所述的直线导入机具有导入管；所述的导入管插入单晶炉内；所述的导入管顶部设置有真空阀；真空阀通过链条环锁固定；所述的移动式升降机的底部设置有控制装置和另一个驱动电机；控制装置分别控制两个驱动电机的启停。进一步的说，本技术所述的导入管为石英导入管。再进一步的说，本技术所述的石英导入管的在单晶炉内的升降行程为850～900mm。本技术的有益效果是，解决了
技术介绍
中存在的缺陷，在炉内剩余1/3液体时提前收尾后添加碎料进行再次化料；只要晶棒拉制无断棱情况可反复多次进行加料，减少了冷却清装时间，降低了石英坩埚单耗。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图中：1、移动式升降机；2、机械臂；3、料罐；4、直线导入机；5、导入管；6、真空阀；7、链条环锁；8、驱动电机；9、另一个驱动电机；10、控制装置。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示的一种电动真空连续投料装置，包括移动式升降机；所述的移动式升降机的立柱上设置有上下移动的机械臂；所述的机械臂上放置料罐；所述的料罐连接直线导入机；直线导入机上设置有驱动电机8；所述的直线导入机具有导入管；导入管为石英导入管。所述的导入管插入单晶炉内；石英导入管的在单晶炉内的升降行程为850～900mm。所述的导入管顶部设置有真空阀；真空阀通过链条环锁固定；所述的移动式升降机的底部设置有控制装置和另一个驱动电机9；控制装置10分别控制两个驱动电机的启停。本项目适合任何尺寸热场，在不改动热场，增加连续加料装置即可使用；连续加料装置的设计和操作采用和单晶炉隔离副室同一原理，简单易懂；首先节约了清装炉时间；其次提高了单个坩埚的利用率；简化了作业流程，更便于生产管理。以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式，各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制，所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离技术的实质和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电动真空连续投料装置，其特征在于：包括移动式升降机；所述的移动式升降机的立柱上设置有上下移动的机械臂；所述的机械臂上放置料罐；所述的料罐连接直线导入机；直线导入机上设置有驱动电机；所述的直线导入机具有导入管；所述的导入管插入单晶炉内；所述的导入管顶部设置有真空阀；真空阀通过链条环锁固定；所述的移动式升降机的底部设置有控制装置和另一个驱动电机；控制装置分别控制两个驱动电机的启停。

【技术特征摘要】
1.一种电动真空连续投料装置，其特征在于：包括移动式升降机；所述的移动式升降机的立柱上设置有上下移动的机械臂；所述的机械臂上放置料罐；所述的料罐连接直线导入机；直线导入机上设置有驱动电机；所述的直线导入机具有导入管；所述的导入管插入单晶炉内；所述的导入管顶部设置有真空阀；真空阀通过链条环锁固...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛士华，
申请(专利权)人：常州顺风光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32