一种单晶炉整体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉整体，包括机架、炉底盘、下炉膛、上炉膛、炉盖、上炉体、水平调整支架、籽晶提升装置，所述的机架内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置，机架上摆放有炉底盘，下炉膛和上炉膛连接在一起，摆放在炉底盘上，炉盖盖在上炉膛顶部，炉盖通过隔离阀腔连接上炉体，上炉体侧面通过提升架连接双立柱，水平调整支架通过转轴连接籽晶提升装置。本实用新型专利技术的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层，冷却层内时刻流通冷水，降低炉体表面的问题，减少了设备的损耗程度，也提高了安全性，延长设备的使用寿命，长期使用不需充磁，安全节能、使用寿命长、提高生产效率、降低生产成本，增加企业效益。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉整体。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在人工晶体行业里广泛用到。一般硅单晶体制造方法如下把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100m m左右、直径为3 5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后， 进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；最后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，进行一定的保温冷却后就可以取出，但是在现有技术中，使用传统的炉子上不具有冷却系统，而炉子在制造过程中炉体温度比较高，损耗大，使用寿命短，碰到容易烫伤，存在安全隐患，而电机、驱动装置等许多部件都是老型号的部件，比较耗能，增加了成本，传统炉体长时间使用后，可能会泄漏，造成损失。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术的目的是提供一种安全节能、使用寿命长的单晶炉整体。为实现上述目的，本技术的技术方案为一种单晶炉整体，包括机架、炉底盘、下炉膛、上炉膛、炉盖、上炉体、水平调整支架、籽晶提升装置，所述的机架内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置，机架上摆放有炉底盘，下炉膛和上炉膛连接在一起，摆放在炉底盘上，炉盖盖在上炉膛顶部，炉盖通过隔离阀腔连接上炉体，上炉体侧面通过提升架连接双立柱，上炉体上端设有延长筒，延长筒上方为水平调整支架，水平调整支架通过转轴连接籽晶提升装置。所述的双立柱由主立柱焊接连接辅立柱构成。所述的水平调整支架由底法兰、支撑杆、调节螺母、上法兰组成，上下法兰通过支撑杆连接支撑，支撑杆通过调节螺母调节高度。所述的籽晶提升装置由链条、支撑板、丝杆螺母、限位挡片、丝杆组成，绕绳轮和主动链轮都套在电机的转轴上，从动链轮安装在滚动丝杆的一端，主动链轮与从动链轮通过链条连接在一起，通过螺丝固定有限位挡片的滑块套在丝杆螺母上，滚动丝杆穿过丝杆螺母两头架在支撑块内固定，滚动丝杆上方设有圆导轨，支撑块两端顶上通过螺钉固定有行程开关顶板。所述的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层。所述的炉盖上设有观察窗。本专利技术的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层，冷却层内时刻流通冷水，降低炉体表面的问题，减少了设备的损耗程度，也提高了安全性，延长设备的使用寿命，此单晶炉的籽晶旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件，无泄漏，长期使用不需充磁。本技术安全节能、使用寿命长、提高生产效率、降低生产成本，增加企业效益。附图说明图I为本技术的结构示意图。图2为图I的俯视图。 具体实施方式如图I、2所示，一种单晶炉整体，包括机架I、炉底盘2、下炉膛3、上炉膛4、炉盖5、上炉体7、水平调整支架9、籽晶提升装置10，所述的机架I内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置12，机架I上摆放有炉底盘2，下炉膛3和上炉膛4连接在一起，摆放在炉底盘2上，炉盖5盖在上炉膛4顶部，炉盖5通过隔离阀腔6连接上炉体7，上炉体7侧面通过提升架连接双立柱11，上炉体I上端设有延长筒8，延长筒8上方为水平调整支架9，水平调整支架9通过转轴连接籽晶提升装置。所述的双立柱11由主立柱焊接连接辅立柱构成。所述的水平调整支架9由底法兰、支撑杆、调节螺母、上法兰组成，上下法兰通过支撑杆连接支撑，支撑杆通过调节螺母调节高度。所述的籽晶提升装置10由链条、支撑板、丝杆螺母、限位挡片、丝杆组成，绕绳轮和主动链轮都套在电机的转轴上，从动链轮安装在滚动丝杆的一端，主动链轮与从动链轮通过链条连接在一起，通过螺丝固定有限位挡片的滑块套在丝杆螺母 上，滚动丝杆穿过丝杆螺母两头架在支撑块内固定，滚动丝杆上方设有圆导轨，支撑块两端顶上通过螺钉固定有行程开关顶板。所述的下炉膛3、上炉膛4、炉盖5和上炉体7都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层。所述的炉盖5上设有观察窗。本专利技术的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层，冷却层内时刻流通冷水，降低炉体表面的问题，减少了设备的损耗程度，也提高了安全性，延长设备的使用寿命，此单晶炉的籽晶旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件，无泄漏，长期使用不需充磁。本技术安全节能、使用寿命长、提高生产效率、降低生产成本，增加企业效益。权利要求1.一种单晶炉整体，包括机架(I)、炉底盘(2)、下炉膛(3)、上炉膛(4)、炉盖(5)、上炉体(7 )、水平调整支架(9 )、籽晶提升装置(10 )，其特征在于，所述的机架(I)内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置(12)，机架(I)上摆放有炉底盘(2)，下炉膛(3)和上炉膛(4)连接在一起，摆放在炉底盘(2)上，炉盖(5)盖在上炉膛(4)顶部，炉盖(5)通过隔离阀腔(6)连接上炉体(7)，上炉体(7)侧面通过提升架连接双立柱(11)，上炉体(I)上端设有延长筒(8)，延长筒(8)上方为水平调整支架(9)，水平调整支架(9)通过转轴连接籽晶提升装置(10)。2.根据权利要求I所述的一种单晶炉整体，其特征在于，所述的双立柱(11)由主立柱焊接连接辅立柱构成。3.根据权利要求I所述的一种单晶炉整体，其特征在于，所述的水平调整支架(9)由底法兰、支撑杆、调节螺母、上法兰组成，上下法兰通过支撑杆连接支撑，支撑杆通过调节螺母调节高度。4.根据权利要求I所述的一种单晶炉整体，其特征在于，所述的籽晶提升装置(10)由链条、支撑板、丝杆螺母、限位挡片、丝杆组成，绕绳轮和主动链轮都套在电机的转轴上，从动链轮安装在滚动丝杆的一端，主动链轮与从动链轮通过链条连接在一起，通过螺丝固定有限位挡片的滑块套在丝杆螺母上，滚动丝杆穿过丝杆螺母两头架在支撑块内固定，滚动丝杆上方设有圆导轨，支撑块两端顶上通过螺钉固定有行程开关顶板。5.根据权利要求I所述的一种单晶炉整体，其特征在于，所述的下炉膛(3)、上炉膛(4)、炉盖(5)和上炉体(7)都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层。6.根据权利要求I所述的一种单晶炉整体，其特征在于，所述的炉盖(5)上设有观察窗。专利摘要本技术公开了一种单晶炉整体，包括机架、炉底盘、下炉膛、上炉膛、炉盖、上炉体、水平调整支架、籽晶提升装置，所述的机架内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置，机架上摆放有炉底盘，下炉膛和上炉膛连接在一起，摆放在炉底盘上，炉盖盖在上炉膛顶部，炉盖通过隔离阀腔连接上炉体，上炉体侧面通过提升架连接双立柱，水平调整支架通过转轴连接籽晶提升装置。本技术的下炉膛、上炉膛、炉盖和上炉体都由内罩、外罩组成，内外罩之间形成冷却层，冷却层内时刻流通冷水，降低炉体表面的问题，减少了设备的损耗程度，也提高了安全性，延长设备的使用寿命，长期使用不需充磁，安全节能、使用寿命长、提高生产效率、降低生产成本，增加企业效益。文档编号C30B15/00GK202576639本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉整体，包括机架（1）、炉底盘（2）、下炉膛（3）、上炉膛（4）、炉盖（5）、上炉体（7）、水平调整支架（9）、籽晶提升装置（10），其特征在于，所述的机架（1）内设有空腔，空腔内安装有坩埚提升装置（12），机架（1）上摆放有炉底盘（2），下炉膛（3）和上炉膛（4）连接在一起，摆放在炉底盘（2）上，炉盖（5）盖在上炉膛（4）顶部，炉盖（5）通过隔离阀腔（6）连接上炉体（7），上炉体（7）侧面通过提升架连接双立柱（11），上炉体（1）上端设有延长筒（8），延长筒（8）上方为水平调整支架（9），水平调整支架（9）通过转轴连接籽晶提升装置（10）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永明，王建文，陈永华，
申请(专利权)人：浙江百隆机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：