【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶炉设备,具体地说是ー种用于单晶炉设备的观测机构。
技术介绍
目前,公知的单晶炉设备中的观察窗为单层结构,设备运行过程中挥发物很快将观察窗玻璃污染,造成无法继续观测,需频繁更换观察窗玻璃,使操作繁复。单个观察窗ー般仅能实现观察、测温、摄像功能中的ー种,不易实现单晶炉晶体生长自动化。
技术实现思路
针对上述单层观察窗存在的观察玻璃需频繁更换、观察窗实现功能単一、不易实现晶体生长自动化问题,本专利技术的目的在于提供ー种用于单晶炉设备的观测机构。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的 本专利技术包括驱动装置、传动装置、固定层玻璃、活动层玻璃及托架,其中驱动装置安装在单晶炉的座体上,所述托架通过传动装置与驱动装置连接,由驱动装置驱动旋转,在托架上放置有多个活动层玻璃;所述固定层玻璃安装在座体上,随托架旋转的活动层玻璃位于固定层玻璃的下方,遮挡住通道内的挥发物。其中所述托架上设有与活动层玻璃数量相等的内孔,每个内孔内均放有活动层玻璃;所述内孔为通孔,且为阶梯孔,活动层玻璃放置在阶梯孔内壁形成的平台上;每个在固定层玻璃下方遮挡挥发物的活动层玻璃遮挡固定层玻璃 ...
【技术保护点】
一种用于单晶炉设备的观测机构,其特征在于:包括驱动装置(1)、传动装置、固定层玻璃(4)、活动层玻璃(5)及托架(6),其中驱动装置(1)安装在单晶炉的座体(7)上,所述托架(6)通过传动装置与驱动装置(1)连接,由驱动装置(1)驱动旋转,在托架(6)上放置有多个活动层玻璃(5);所述固定层玻璃(4)安装在座体(7)上,随托架(6)旋转的活动层玻璃(5)位于固定层玻璃(4)的下方,遮挡住通道(10)内的挥发物。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:雷震霖,吕棋,佟辉,王宏宇,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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