本发明属于MBE分子束外延设备领域，具体地说是一种导套外置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法，高温束源炉束流控制结构包括控制叉、传动板组件、源炉腔体、坩埚塞支撑套、固定导套、源炉坩埚、高温加热区组件及坩埚塞；源炉坩埚本体固定在源炉腔体...

本发明属于MBE分子束外延设备领域，具体地说是一种导套内置型高温束源炉束流控制结构及其控制方法，高温束源炉束流控制结构包括控制叉、坩埚塞支撑套、源炉腔体、源炉坩埚、坩埚塞、高温加热区组件及发射喷口；源炉坩埚本体固定在源炉腔体内部，其脖颈...

本发明涉及分子束外延设备束源炉配件技术领域，具体地说是一种应用于超高真空环境一体式水冷套，内、外筒顶部和底部分别焊超高真空刀口法兰或端堵，最高点开口处在轴向竖直位置的金属管，贴合内、外筒壁面螺旋等距缠绕，形成螺旋环形水道，使进水冷水和回...

本发明属于针阀领域，具体地说是一种适用于超高真空的针阀驱动组件，包括具有刻度指示线的主体固定座，集压缩波纹管和驱动杆为一体的CF法兰，起精准导向作用的耐高温自润滑导套，与驱动杆内螺纹高精度配合的驱动螺杆，支撑驱动螺杆旋转的轴承，大气侧连...

本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是一种适用于新型极高真空离子泵的可移动式高压电源装置与实现方法。所述装置包括：移动供电单元、总控开关单元、DC‑DC变换单元、高压输出单元、电压/电流处理单元、移动高压电源壳体单元。移动供电单元，用于...

本发明属于真空离子泵领域，具体说是一种适用于真空离子泵电源的可控温自动检测装置，包括：信息采集与控制显示单元，用于通过模拟量采集模块采集测试数据以及发送测试指令至被测产品选择控制单元，控制测试的开始与停止，并显示整个测试流程与测试结果；...

本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是新型极高真空离子泵多通道高精度集成控制装置与方法。所述装置包括：总集成控制单元，用于多通道离子泵集成控制与数据处理；通讯单元1/2/3/4，用于子通道控制单元与集成控制单元数据交换；子通道控制单元1...

本发明属于极高真空领域，具体地说是一种复合离子泵的新结构，包括离子泵、法兰接管焊件、转接筒、连接端子、引线、绝缘陶瓷管、连接柱及NEG泵芯，法兰接管焊件包含法兰、接管和2芯NEG电极插头；离子泵采用SKY20L泵，将泵口更换为法兰接管焊...

本发明涉及极高真空领域中离子泵的测试工装，具体地说是一种可调参数的离子泵测试工装，包括主焊件

本发明公开了一种爪式真空泵的进排气口结构，包括上级隔板和下级隔板，所述上级隔板包括泵腔排气面和下级转子的进气面，所述下级隔板包括下级泵腔排气面和后级转子的进气面，所述泵腔排气面和所述下级转子的进气面和所述下级泵腔排气面和所述后级转子的进...

本发明公开了一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳和用于驱动真空泵机组工作的电机组件，所述泵壳的内部上下端分别设置有上泵腔和下泵腔，所述泵壳在上泵腔和下泵腔内部设置有多叶罗茨转子组件，所述电机组件设置在泵壳的一端用于驱动多叶罗茨转子组件工作

本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检...

本发明公开了一种真空泵轴防腐蚀配气结构，包括真空泵体（20），所述真空泵体（20）设有上腔体（22），所述上腔体（22）底部连接下腔体（10），所述上腔体（22）顶部中心安装有进气接口（21），所述上腔体（22）内部设有细长通道（23）...

一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变...

本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水...

本实用新型属于钛升华泵领域，具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构，包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连，大法兰焊件的另一端连接真空腔室，冷阱筒焊件的另一端与小法兰焊件的一...

本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种真空机械手。包括交接叉组件、曲柄连杆滑块机构、机械手底座及驱动装置，其中曲柄连杆滑块机构和驱动装置分别设置于机械手底座的两端，交接叉组件与曲柄连杆滑块机构连接，驱动装置通过机械手底座和曲柄连杆...

本发明涉及真空腔体交接技术领域，特别涉及一种大型真空机械手。包括水平传动机构、支撑翘动机构、固定组件、翘动腔体及传递杆组件，其中翘动腔体活动安装在固定组件上，支撑翘动机构设置于固定组件上，且与翘动腔体连接，支撑翘动机构用于支撑及驱动翘动...

本发明涉及极高真空离子泵异常打火放电检测领域，具体来说是一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，包括异常放电信号获取单元、异常放电信号调理单元、异常放电信号截取单元及异常放电信号处理与显示单元。本发明能够检测极高真空离子泵内异常打...

本发明属于液氮存储及低温传导领域，具体地说是一种低温杜瓦瓶及其使用方法，内腔室安装于外腔室内部，内腔室与外腔室之间为用于内腔室与外界隔热的真空夹层；内腔室设有穿出外腔室外部的液氮管路管道，液氮管路管道的一端与内腔室的内部相连通、另一端设...