一种爪式真空泵的进排气口结构制造技术

技术编号:39721572 阅读:29 留言:0更新日期:2023-12-17 23:27
本发明专利技术公开了一种爪式真空泵的进排气口结构,包括上级隔板和下级隔板,所述上级隔板包括泵腔排气面和下级转子的进气面,所述下级隔板包括下级泵腔排气面和后级转子的进气面,所述泵腔排气面和所述下级转子的进气面和所述下级泵腔排气面和所述后级转子的进气面径向为交错设置;本发明专利技术结构简单,设计合理,本发明专利技术提出一种阶梯式进排气口结构,为排出的气体预留一定的缓冲空间,同时,也为下一级进气设置缓冲区域,两部分的缓冲区域能减小返流的产生,有效地解决目前进排气口返流大

【技术实现步骤摘要】
一种爪式真空泵的进排气口结构


[0001]本专利技术涉及干式真空泵
,具体为一种爪式真空泵的进排气口结构


技术介绍

[0002]近年来,多级爪式真空泵的应用范围日益广泛,包括罗茨
+
爪式与全爪式

其优点主要有:无油污染

可高速旋转

压缩比大

且满足在大气压到
0.1Pa
范围内工作,出于使用寿命

所能达到的压缩比

转速及动平衡等方面的考虑,干式真空泵多采用形状复杂的爪式转子,与罗茨泵类似,两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积;不同的是,爪形转子与泵腔所形成的抽气容积,其抽气过程靠固定在两侧腔体侧面上的吸气口和排气口完成,由转子在旋转过程中自动开闭

所以,爪形转子吸排气口的布置与设计变得至关重要

[0003]现有技术的不足:目前,爪形泵进排气口的设计为同心圆弧段形式,垂直气流方向截面的端面均为等半径,且两端是半径为r/>r
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种爪式真空泵的进排气口结构,包括上级隔板(
110
)和下级隔板(
120
),其特征在于:所述上级隔板(
110
)包括泵腔排气面(
111
)和下级转子的进气面(
112
),所述下级隔板(
120
)包括下级泵腔排气面(
121
)和后级转子的进气面(
122
),所述泵腔排气面(
111
)和所述下级转子的进气面(
112
)和所述下级泵腔排气面(
121
)和所述后级转子的进气面(
122
)径向为交错设置
。2.
根据权利要求1所述的一种爪式真空泵的进排气口结构,其特征在于:所述泵腔排气面(
111


所述下级转子的进气面(
112


所述下级泵腔排气面(
121
)和所述后级转子的进气面(
122
)的两端面均设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:王光玉孔祥玲徐静怡王云刘云鹏
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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