【技术实现步骤摘要】
一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置
[0001]本专利技术涉及极高真空离子泵领域，具体来说该专利技术能够检测极高真空离子泵内异常放电打火情况，并根据离子泵内异常放电情况进行统计分析与自启动防护策略，从而可以起到保护离子泵与离子泵控制仪的作用，延长离子泵系统使用寿命，提高系统可靠性。
技术介绍
[0002]极高真空离子泵又称潘宁泵，它是一种使用较广泛的清洁真空泵。二极型极高真空离子泵阴极由钛板组成，阳极由阳极筒组成，当阳极加上适当高压(对阴极为正电位)时，在阳极小室内产生放电，放电可维持到很低压力。实际上离子泵正常工作状态下，泵体内也是持续在放电状态，而这种正常的、持续的放电状态通常是通过离子流来表征，对于离子泵内因陶瓷金属化、电极虚连等导致的异常放电状态是无法用离子流来表征的，如果离子泵内发生了异常放电状态而长时间不做处理，那么则会影响离子泵及其控制仪使用寿命。为了满足该需求，本专利技术设计了一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，能够动态检测离子泵内异常放电情况，并根据异常放电统计数据自动采取放电抑制策略，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，包括：异常放电信号获取单元，用于从工作状态下的离子泵负载采集的离子流信号中提取异常放电信号；异常信号调理单元，用于对采集到的异常放电信号进行滤波噪声处理，同时对异常放电信号进行提取与调理；异常信号截取单元，用于对信号调理单元调理后的异常放电信号进行截取，并送至异常信号处理与显示单元；异常信号处理与显示单元，用于对离子泵内异常放电信号进行数据统计、分析与显示。2.根据权利要求1所述的一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，所述异常放电信号获取单元，包括：泵负载检测模块，用于通过电阻R1对异常离子流信号进行动态采集；泵负载保护模块，用于通过瞬态防护二极管D1、二极管D2、二极管D3对离子泵负载采集到的异常离子流信号进行瞬态抑制与防护，得到的异常放电信号输出至异常信号调理单元。3.根据权利要求1或2所述的一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，所述异常放电信号获取单元，包括：用于采集离子流信号的离子泵负载一侧经电阻R1接地，还通过电阻R2输出至异常放电信号调理单元；电阻R1与电阻R2之间的节点，通过瞬态防护二极管D1接地，还分别通过二极管D2、二极管D3与两个不同电压的电源连接；其中，电阻R1构成泵负载检测模块；瞬态防护二极管D1、二极管D2、二极管D3构成泵负载保护模块。4.根据权利要求1或2所述的一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，所述异常信号调理单元，包括：滤波单元，用于对运算放大器U1正向输入端输入的噪声信号进行滤波；包括并联的电容C1和电容C2；所述滤波单元接入所述运算放大器U1的正向输入端与地之间；调理单元，用于将经电阻R2限流后的异常放电信号获取单元信号进行放大；所述第一运算放大器U1的正向输入端通过电阻R2与二极管D2、二极管D3间节点连接，运算放大器U1的输出端与反向输入端连接，实现对异常放电信号进行提取；并将得到的异常放电信号输出至异常信号截取单元。5.根据权利要求1所述的一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，所述异常信号截取单元，包括平滑处理模块、第一阈值开关模块、第二阈值开关模块、第二运算放大器U2、第三运算放大器U3；平滑处理模块，用于将信号调理单元输出的调理后的异常放电信号进行平滑处理，并输入至第二运算放大器U2的反向输入端；第一阈值开关模块，用于为异常放电信号的截取提供第一基准电压，并输入至第二运算放大器U2的正向输入端；第二阈值开关模块，用于对异常放电信号的截取提供第二基准电压，并输入至第三运算放大器U3的反向输入端；
第二运算放大器U2，用于对异常放电信号进行初步筛选与截取；第三运算放大器U3，用于对第二运算放大器U2输出的异常放电信号进行再次筛选与截取，并将捕获的异常放电信号送至异常信号处理与显示单元。6.根据权利要求1或5所述的一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，其特征在于，所述异常信号截取单元，包括：平滑处理模块，包括电阻R9、电阻R4、电容C3和电容C5；其中，信号调理单元输出端通过并联的电阻R9、电容C3接地，还通过电阻R4与第二运算放...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶琳琳，赵崇凌，汪良，袁方，佟雷，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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