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本发明涉及极高真空离子泵异常打火放电检测领域，具体来说是一种新型极高真空离子泵异常放电检测与抑制装置，包括异常放电信号获取单元、异常放电信号调理单元、异常放电信号截取单元及异常放电信号处理与显示单元。本发明能够检测极高真空离子泵内异常打火放...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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