一种适用于超高真空的针阀驱动组件制造技术

本发明专利技术属于针阀领域，具体地说是一种适用于超高真空的针阀驱动组件，包括具有刻度指示线的主体固定座，集压缩波纹管和驱动杆为一体的CF法兰，起精准导向作用的耐高温自润滑导套，与驱动杆内螺纹高精度配合的驱动螺杆，支撑驱动螺杆旋转的轴承，大气侧连接动力源的联轴器，真空侧可快速安装针阀的固定环。本发明专利技术提供了一种适用于超高真空的针阀驱动组件，该组件具有整体耐高温、装配方便，运动稳定，控制精度高，适用范围广等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于针阀领域，具体地说是一种适用于超高真空的针阀驱动组件。

技术介绍

1、针阀驱动组件控制着针阀阀头的开启与闭合，如何稳定、高精度地控制是设计针阀驱动组件的前提，还要考虑其适用性等特点。

2、现阶段常见的针阀驱动组件，多用于大气环境下，而超高真空领域所需的针阀驱动组件几乎空白。

技术实现思路

1、为了满足超高真空领域对针阀驱动组件的需求，本专利技术的目的在于提供一种适用于超高真空的针阀驱动组件。

2、本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、本专利技术的针阀驱动组件位于裂解炉外的大气侧，所述针阀驱动组件包括动力源、联轴节、驱动螺杆、主体固定座及cf法兰，其中cf法兰具有安装在裂解炉上的法兰盘，所述主体固定座的一端与法兰盘相连，所述驱动螺杆与主体固定座的另一端转动连接，所述驱动螺杆的一端位于主体固定座外部、并通过所述联轴节与动力源相连，所述驱动螺杆的另一端伸入主体固定座内部，所述主体固定座内部设有空腔；所述cf法兰中间部分的一端为驱动杆，所述驱动杆与驱动螺杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于超高真空的针阀驱动组件，其特征在于：所述针阀驱动组件位于裂解炉外的大气侧，所述针阀驱动组件包括动力源、联轴节（1）、驱动螺杆（3）、主体固定座（5）及CF法兰（6），其中CF法兰（6）具有安装在裂解炉上的法兰盘（13），所述主体固定座（5）的一端与法兰盘（13）相连，所述驱动螺杆（3）与主体固定座（5）的另一端转动连接，所述驱动螺杆（3）的一端位于主体固定座（5）外部、并通过所述联轴节（1）与动力源相连，所述驱动螺杆（3）的另一端伸入主体固定座（5）内部，所述主体固定座（5）内部设有空腔；所述CF法兰（6）中间部分的一端为驱动杆（10），所述驱动杆（10）与驱动螺杆（3）的...

【技术特征摘要】

1.一种适用于超高真空的针阀驱动组件，其特征在于：所述针阀驱动组件位于裂解炉外的大气侧，所述针阀驱动组件包括动力源、联轴节（1）、驱动螺杆（3）、主体固定座（5）及cf法兰（6），其中cf法兰（6）具有安装在裂解炉上的法兰盘（13），所述主体固定座（5）的一端与法兰盘（13）相连，所述驱动螺杆（3）与主体固定座（5）的另一端转动连接，所述驱动螺杆（3）的一端位于主体固定座（5）外部、并通过所述联轴节（1）与动力源相连，所述驱动螺杆（3）的另一端伸入主体固定座（5）内部，所述主体固定座（5）内部设有空腔；所述cf法兰（6）中间部分的一端为驱动杆（10），所述驱动杆（10）与驱动螺杆（3）的另一端螺纹连接，所述cf法兰（6）中间部分的另一端由法兰盘（13）穿出后伸入裂解炉内的超真空环境中、并与针阀阀头相连，所述cf法兰（6）的中间部分套设有压缩波纹管（8），所述压缩波纹管（8）的一端与法兰盘（13）上供cf法兰（6）中间部分另一端伸出的开口密封连接，所述压缩波纹管（8）的另一端与cf法兰（6）的中间部分密封连接或为一体结构，所述cf法兰（6）中间部分的一端及压缩波纹管（8）位于主体固定座（5）的空腔中；所述动力源通过联轴节（1）带动驱动螺杆（3）转动，所述驱动螺杆（3）通过与驱动杆（10）之间的螺纹连接带动cf法兰（6）的中间部分沿轴向往复移动，进而控制在超高真空环境下针阀的开启与关闭，所述压缩波纹管（8）随cf法兰（6）中间部分的移动而伸缩。

2.根据权利要求1所述适用于超高真空的针阀驱动组件，其特征在于：所述cf法兰（6）中间部分的轴向截面为“十”字形，“十”字形的横边始终位于所述主体固定座（5）的空腔内，所述压缩波纹管（8）套设在“十”字形横边下方的竖边外围，所述压缩波纹管（8）的另一端与“十”字形横边密封连接或为一体结构。

3.根据权利要求2所述适用于超高真空的针阀驱动组件，其特征在于：所述“十”字形横边上方的竖边为驱动杆（10），所述驱动杆（10）由顶端沿轴向开孔，孔内壁制有内螺纹，所述驱动螺杆（3）的另一端伸入孔中、并螺纹连接；所述驱动螺杆（3）的转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学锋，毕永生，雷震霖，王忠旭，赵崇凌，王启佳，佟雷，林秀青，朱龙来，王凯，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：