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本发明属于针阀领域，具体地说是一种适用于超高真空的针阀驱动组件，包括具有刻度指示线的主体固定座，集压缩波纹管和驱动杆为一体的CF法兰，起精准导向作用的耐高温自润滑导套，与驱动杆内螺纹高精度配合的驱动螺杆，支撑驱动螺杆旋转的轴承，大气侧连接动...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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