一种多级罗茨真空泵机组制造技术

本发明专利技术公开了一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳和用于驱动真空泵机组工作的电机组件，所述泵壳的内部上下端分别设置有上泵腔和下泵腔，所述泵壳在上泵腔和下泵腔内部设置有多叶罗茨转子组件，所述电机组件设置在泵壳的一端用于驱动多叶罗茨转子组件工作

【技术实现步骤摘要】
一种多级罗茨真空泵机组


[0001]本专利技术涉及干式真空泵
，具体为一种多级罗茨真空泵机组
。

技术介绍

[0002]多级干式真空泵的应用范围日益广泛，包括罗茨
+
爪式，全罗茨式与全爪式
。
其中，全罗茨式真空泵由于其能耗低
、
抽速高等优点，在半导体行业中的应用越来越多
。
[0003]现有技术的不足：而罗茨转子结构及其组合形式决定着抽速
、
极限等关键真空性能
。
现有的常见组合形式为罗茨
+
爪式或全等叶罗茨形式，这种组合形式往往存在能耗高，排气不顺畅等问题
。
因此，需要设计一种全新组合形式的真空泵转子轴结构及多级罗茨干式真空泵
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种多级罗茨真空泵机组，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳和用于驱动真空泵机组工作的电机组件，所述泵壳的内部上下端分别设置有上泵腔和下泵腔，所述泵壳在上泵腔和下泵腔内部设置有叶罗茨转子组件，所述电机组件设置在泵壳的一端用于驱动多叶罗茨转子组件工作
。
[0006]作为本专利技术的进一步改进，所述多叶罗茨转子组件包括有：主动转子轴，所述主动转子轴设置在下泵腔内部；从动转子轴，所述从动转子轴设置在上泵腔的内部，所述主动转子轴和从动转子轴的两端均设置有轴承，所述轴承设置在泵壳上；多叶罗茨转子，所述多叶罗茨转子设置在主动转子轴和从动转子轴上
。
[0007]作为本专利技术的进一步改进，所述多叶罗茨转子包括有三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子
。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，所述主动转子轴和从动转子轴与多叶罗茨转子之间为一体式
。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，所述三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子的圆弧表面均设有半球形结构，所述半球形结构均布置在三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子的叶峰小圆弧上
。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述主动转子轴和从动转子轴上的多叶罗茨转子相同且互相共轭
。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述泵壳的上端面上在上泵腔上端设置有进气口，所述泵壳的下端面上在下泵腔上端设置有出气口
。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，所述上泵腔和下泵腔结构相同，所述上泵腔和下泵腔内均设置相对独立的空间结构，且各级腔之间均布置气流通道
。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子外圆半径随叶数增加依次减小，且厚度尺寸随级数增加依次减小
。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述上泵腔和下泵腔，各级腔内尺寸均与三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子的尺寸相适配
。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术中多叶罗茨转子包括有三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子，三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子外圆半径随叶数增加依次减小，且厚度尺寸随级数增加依次减小，通过转子与轴一体式加工，节省了连接件的数量，有效地提高了装配效率；本专利技术中主动转子轴和从动转子轴上的多叶罗茨转子相同且互相共轭，主动转子轴和从动转子轴与多叶罗茨转子之间为一体式，通过转子与轴一体式加工，节省了连接件的数量，有效地提高了装配效率；本专利技术中三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子的圆弧表面均设有半球形结构，半球形结构均布置在三级两叶罗茨转子
、
两级四叶罗茨转子和两级五叶罗茨转子的叶峰小圆弧上，可以除去工艺中产生的粉尘颗粒，适用于工艺中存在粉尘颗粒的使用场合，具有良好的综合性能与优势
。
附图说明
[0016]图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术进气口和出气口示意图；图3为本专利技术多叶罗茨转子安装示意图；图4为本专利技术三级两叶罗茨转子放大示意图
。
[0017]图中：
1、
泵壳；
101、
上泵腔；
102、
下泵腔；
103、
进气口；
104、
出气口；
2、
电机组件；
3、
多叶罗茨转子组件；
31、
主动转子轴；
32、
从动转子轴；
33、
轴承；
34、
多叶罗茨转子；
341、
三级两叶罗茨转子；
342、
两级四叶罗茨转子；
343、
两级五叶罗茨转子
。
具体实施方式
[0018]为了使本专利技术所要解决的技术问题
、
技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术
。
[0019]需要说明的是，当元件被称为“固定”、“安装”、“连接”或“设置”有另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上的
。
需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有说明 书特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制
。
[0020]作为本专利技术的进一步改进，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征
。
实施例
[0021]请参阅图1‑4，本专利技术提供一种技术方案：一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳1和用于驱动真空泵机组工作的电机组件2，泵壳1的内部上下端分别设置有上泵腔
101
和下泵腔
102
，泵壳1在上泵腔
101
和下泵腔
102
内部设置有叶罗茨转子组件3，电机组件2设置在泵壳1的一端用于驱动多叶罗茨转子组件3工作
。
[0022]多叶罗茨转子组件3包括有主动转子轴
31、
从动转子轴
32
和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳（1）和用于驱动真空泵机组工作的电机组件（2），其特征在于：所述泵壳（1）的内部上下端分别设置有上泵腔（
101
）和下泵腔（
102
），所述泵壳（1）在上泵腔（
101
）和下泵腔（
102
）内部设置有多叶罗茨转子组件（3），所述电机组件（2）设置在泵壳（1）的一端用于驱动多叶罗茨转子组件（3）工作
。2.
根据权利要求1所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述多叶罗茨转子组件（3）包括有：主动转子轴（
31
），所述主动转子轴（
31
）设置在下泵腔（
102
）内部；从动转子轴（
32
），所述从动转子轴（
32
）设置在上泵腔（
101
）的内部，所述主动转子轴（
31
）和从动转子轴（
32
）的两端均设置有轴承（
33
），所述轴承（
33
）设置在泵壳（1）上；多叶罗茨转子（
34
），所述多叶罗茨转子（
34
）设置在主动转子轴（
31
）和从动转子轴（
32
）上
。3.
根据权利要求2所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述多叶罗茨转子（
34
）包括有三级两叶罗茨转子（
341
）
、
两级四叶罗茨转子（
342
）和两级五叶罗茨转子（
343
）
。4.
根据权利要求2所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述主动转子轴（
31
）和从动转子轴（
32
）与多叶罗茨转子（
34
）之间为一体式
。5.
根据权利要求3所述的一种多级罗茨真空泵机组，其特征在于：所述三级两叶罗茨转子（
341
）
、
两级...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷震霖，孔祥玲，王云，杨帆，李鹏明，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：