直拉硅单晶炉热场提升装置制造方法及图纸

技术编号:8117193 阅读:168 留言:0更新日期:2012-12-22 08:08
本实用新型专利技术涉及一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。本实用新型专利技术结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升,实现了热场提升的自动化,并允许热场在较高温度下进行拆卸分离,具有降低热场损坏率,提高生产效率的优点;本实用新型专利技术提及装置不仅限于硅单晶热场的提升,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场提升。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉硅单晶炉的配件设计及制造
,特别是一种直拉硅单晶炉热场提升装置
技术介绍
直拉法是制备硅单晶材料的一种主要方法。硅单晶炉设有齿状环形石墨加热器,是加热熔化块状硅原材料的功率来源,又称热场。在单晶炉加热过程中,热场会固定在单晶炉底。当单晶拉制完成时,热场一般需要拆卸并提升清理,然后再固定在单晶炉底以备下一次的单晶制备。目前,热场提升由人工操作进行。对于直径较大的热场,如6英寸以上单晶的热场,需要两人协同操作。而加热器一般由脆性材料石墨制成,人工协调又较为困难,在提升过程中易将热场掰坏。另外,在单晶制备结束时,热场还有较高的温度(一般在500° C 以上),从该温度降到人工可操作的温度范围(一般低于100° C)需要很长的时间,影响生产效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种直拉硅单晶炉热场提升装置,用以解决高温下热场提升以及人工提升热场协调性差的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。为了节省空间,并且便于收放,本技术所述的伸缩杆为多端连接结构,伸缩杆的一端固定在转动轴上,另一端与托板相连接。本技术所述的伸缩杆在收缩状态下,伸缩杆与托板的总长度小于热场的内半径;在伸展状态下,伸缩杆与托板的总长度与热场下沿齐平。这样的结构使得本技术能够方便快捷的出入热场并将热场提升。进一步的说,本技术所述的起吊器为吊车或液压机;所述的起吊连接部件为钢丝、绳索或紧固件。本技术的有益效果是,解决了
技术介绍
中存在的缺陷,该装置结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升,实现了热场提升的自动化,并允许热场在较高温度下进行拆卸分离,具有降低热场损坏率,提高生产效率的优点;本技术提及装置不仅限于硅单晶热场的提升,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场提升。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I是本技术的起托器的结构示意图;图2是图I的俯视图;图中1、托盘,2、托板,3、转动轴,4、伸缩杆,5、档杆。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进ー步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。如图I所示的ー种直拉硅单晶炉热场提升装置的起托器结构,起托器包括底部的托盘1,托盘I中心垂直设置有转动轴3,转动轴3上固定连接伸缩杆4,伸缩杆4与托盘I之间连接托板2,伸缩杆4为多端连接结构,伸缩杆4的一端固定在转动轴3上,另一端与托板2相连接。伸缩杆4在收缩状态下,伸缩杆与托板的总长度小于热场的内半径;在伸展状态 下,伸縮杆与托板的总长度与热场下沿齐平。托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆5。在热场提升时,将起吊器和起托部件用起吊连接部件牢固连接。起吊器为吊车,起吊连接部件为钢丝。在起吊器的控制下,将伸缩杆处于收缩状态的起托器与热场的圆心对准缓慢放下,当托盘上沿所在平面低于热场下沿所在平面吋,旋转转动轴使伸縮杆处于伸展状态,使档杆轻轻抵住热场内径,同时缓慢抬起起托器,使托板与热场牢固接触,此时可以缓慢提升热场。在将热场抬离单晶炉后,将其缓慢放下,将伸缩杆收拢即可。以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式,各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制,所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形,而不背离技术的实质和范围。权利要求1.一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,其特征在于所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。2.如权利要求I所述的直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于所述的伸缩杆为多端连接结构,伸缩杆的一端固定在转动轴上,另一端与托板相连接。3.如权利要求I所述的直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于所述的伸缩杆在收缩状态下,伸缩杆与托板的总长度小于热场的内半径;在伸展状态下,伸缩杆与托板的总长度与热场下沿齐平。4.如权利要求I所述的直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于所述的起吊器为吊车或液压机。5.如权利要求I所述的直拉硅单晶炉热场提升装置,其特征在于所述的起吊连接部件为钢丝、绳索或紧固件。专利摘要本技术涉及一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。本技术结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升,实现了热场提升的自动化,并允许热场在较高温度下进行拆卸分离,具有降低热场损坏率,提高生产效率的优点;本技术提及装置不仅限于硅单晶热场的提升,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场提升。文档编号C30B15/14GK202610381SQ20122020522公开日2012年12月19日 申请日期2012年5月7日 优先权日2012年5月7日专利技术者刘富林, 陈雷, 陶文元 申请人:常州顺风光电材料有限公司本文档来自技高网
...

【技术保护点】
一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,其特征在于:所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘富林陈雷陶文元
申请(专利权)人:常州顺风光电材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1