直拉硅单晶炉热场提升装置制造方法及图纸

技术编号:8117193 阅读:179 留言:0更新日期:2012-12-22 08:08
本实用新型专利技术涉及一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。本实用新型专利技术结构简单,使用方便,能够使热场在高温下完好提升,实现了热场提升的自动化,并允许热场在较高温度下进行拆卸分离,具有降低热场损坏率,提高生产效率的优点;本实用新型专利技术提及装置不仅限于硅单晶热场的提升,同时也适用于其他类似材料生长设备的热场提升。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及直拉硅单晶炉的配件设计及制造
,特别是一种直拉硅单晶炉热场提升装置
技术介绍
直拉法是制备硅单晶材料的一种主要方法。硅单晶炉设有齿状环形石墨加热器,是加热熔化块状硅原材料的功率来源,又称热场。在单晶炉加热过程中,热场会固定在单晶炉底。当单晶拉制完成时,热场一般需要拆卸并提升清理,然后再固定在单晶炉底以备下一次的单晶制备。目前,热场提升由人工操作进行。对于直径较大的热场,如6英寸以上单晶的热场,需要两人协同操作。而加热器一般由脆性材料石墨制成,人工协调又较为困难,在提升过程中易将热场掰坏。另外,在单晶制备结束时,热场还有较高的温度(一般在500° C 以上),从该温度降到人工可操作的温度范围(一般低于100° C)需要很长的时间,影响生产效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种直拉硅单晶炉热场提升装置,用以解决高温下热场提升以及人工提升热场协调性差的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直拉硅单晶炉热场提升装置,包括起吊器、起吊连接部件和起托器,其特征在于:所述的起托器包括底部的托盘,所述的托盘中心垂直设置有转动轴,所述的转动轴上固定连接伸缩杆,伸缩杆与托盘之间连接托板,所述的托板上、与转动轴平行方向上垂直固定有挡杆。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘富林陈雷陶文元
申请(专利权)人:常州顺风光电材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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