单晶炉高温计安装结构及包括该结构的单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉高温计安装结构及包括该结构的单晶炉。其中单晶炉高温计安装结构包括：套管（10）以及可拆卸地嵌设在套管（10）内的高温计（20），高温计（20）上设置有限制高温计（20）在套管（10）内的嵌入深度的第一限位部。采用本实用新型专利技术的单晶炉高温计安装结构及包括该结构的单晶炉，可以限制高温计嵌入套管内的深度，避免高温计对石英镜片造成损坏。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制备装置，具体而言，涉及一种单晶炉高温计安装结构及包括该结构的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是在惰性气体环境中，采用加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备。高温计一般指测量温度高于500°C所使用的温度计。在单晶炉运行时，需要利用高温计对单晶炉热场的温度信号进行采集，并通过与高温计连接的光纤数据传输线，将采集到的温度信号反馈到可编程逻辑控制器中，以实现单晶炉热场温度的自动化控制。而高温计与单晶炉的连接是通过支架实现的。传统的支架，一般是固定设置在单晶炉的炉壁上的中空套管，中空套管内设置有内螺纹，与中空套管的螺纹通孔对应地，在单晶炉的炉壁上设置有高温信号采集孔，该采集孔处设置有用于密封的石英镜片，高温计外表面设置有外螺纹，使用时将高温计旋拧嵌设到套管中，隔着石英镜片采集热场信号。由于单晶炉每运行5次就需要进行整体清洁，所以高温计要反复从单晶炉上安装或拆卸下来，而高温计在旋拧过程中，由于没有限位，很容易旋拧过度，对石英镜片造成挤压，甚至导致石英镜片上产生隐形裂痕。这样在单晶炉运行时，会造成石英镜片上的裂痕扩张，由此产生漏气现象，会导致单晶炉内石墨件的表层氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉高温计安装结构，包括套管（10）以及可拆卸地嵌设在所述套管（10）内的高温计（20），其特征在于，所述高温计（20）上设置有限制所述高温计（20）在所述套管（10）内的嵌入深度的第一限位部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：白剑铭，孙二凯，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：