石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉。其中石墨埚包括：埚体（10）；埚沿（20），沿埚体（10）的上端面延伸，且与埚体（10）可拆卸地连接。采用本实用新型专利技术的石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉，可以只更换损坏的石墨埚的上沿，而保留石墨埚的埚体，降低维修成本，同时可以方便石英埚的取出。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅单晶制备装置，具体而言，涉及ー种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是在惰性气体环境中，采用加热器，将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位 错单晶的设备。如图I所示，石墨埚是单晶炉热场的重要组成部件之一，其埚体10’可以在高温状态下支撑石英埚，起到对石英埚的保护作用。但是，由于石英埚的高度一般与石墨埚齐平，所以出炉时，石英埚不容易从石墨埚中取出；此外，硅材料熔化时，硅液经常会溅射到石墨埚的上沿。如果不及时清理沾在石墨埚上沿的硅液，在高温状态下，硅液会浸入到石墨埚内部，对石墨埚造成污染，所以单晶炉毎次运行结束后都需要将石墨埚取出，并对其上沿表面沾染的硅液进行清洗。清洗硅液一般是选用砂轮机进行打磨，但是经常打磨会导致石墨埚上沿破损严重，还会导致石墨埚受到应カ冲击，无法对石英埚提供牢靠的保护，同时石墨埚上沿浸染有硅液的部位容易出现裂纹，影响了石墨埚的使用寿命，由于石墨埚为一体成型，当上沿出现裂纹后，虽然埚体10’还完好无损，但仍然需要对石墨埚的整体进行更换，増加了维修成本。
技术实现思路
本技术g在提供ー种石墨埚及包括该石墨埚的单晶炉，可以只更换损坏的石墨埚的上沿，而保留石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨埚，其特征在于，包括：埚体（10）；埚沿（20），沿所述埚体（10）的上端面延伸，且与所述埚体（10）可拆卸地连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：白剑铭，孙二凯，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：