一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置，该铸锭炉内设有护板，该进气排杂装置设置在该护板上方，并与护板之间设有出气口，该进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，该进气管与分流组件相连。分流组件将气流分散，从而减弱对硅液表面的冲击，同时分散的气流不容易在铸锭炉内形成循环气流，从而减少气体在坩埚、护板及盖板组成的结构中停留的时间，使气体能够尽快排出，减少含碳气体流经硅液表面时被吸附及溶入硅液的碳含量。这样，生长出来的硅锭就会有较高的质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

—种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置
本技术涉及一种进气排杂装置，特别是涉及一种用于多晶硅铸锭炉的进气排
技术介绍
由于铸锭炉内的石墨材料会与二氧化硅制成的石英坩埚在高温下发生反应产生含碳气体，如0)、0)2等，而所产生的含碳气体会使多晶硅中的碳含量过高。多晶硅中碳含量过高容易导致硅溶液在定向凝固长晶过程中形成碳沉淀物、碳化硅夹杂物、位错等杂质或缺陷，这不仅会在多晶硅锭切割工艺中增加断线事故及产生线痕不良，而且还会导致制作成的电池片漏电率高、转换效率低。故常用的方法是在铸锭炉顶部通入惰性气体来排出所产生的含碳气体。请参考图1，该铸锭炉包括坩埚11与护板12，护板12顶部设置盖板13，护板12与盖板13之间具有出气口 14,盖板13上设置一根石墨长管15。该石墨长管15穿过盖板13与坩埚11内部空间导通。惰性气体从石墨长管15进入铸锭炉，并达到坩埚11 上方。，进入铸锭炉的气体并不能马上通过出气口 14排出热场，而是会在坩埚11、护板12、盖板13组成的结构中循环，并流经硅液的表面，使碳元素被吸附及溶入硅液中，从而造成生长出的硅锭中的碳含量高。另外，进入铸锭炉的气体还会造成气体对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置，其特征在于，所述进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，所述进气管与所述分流组件相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：游达，吴义华，黄春来，周声浪，权祥，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：