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本实用新型提供一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置,该铸锭炉内设有护板,该进气排杂装置设置在该护板上方,并与护板之间设有出气口,该进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件,该进气管与分流组件相连。分流组件将气流分散,从而...该专利属于江苏协鑫硅材料科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏协鑫硅材料科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置,该铸锭炉内设有护板,该进气排杂装置设置在该护板上方,并与护板之间设有出气口,该进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件,该进气管与分流组件相连。分流组件将气流分散,从而...