一种多晶铸锭炉制造技术

本发明专利技术涉及一种多晶铸锭炉，该多晶铸锭炉的坩埚位于隔热笼中，坩埚顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，坩埚两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，坩埚底部设有热交换块，热交换块呈凸形且凸起的一面与坩埚底部接触，在热交换块上部凸起部分四周设置有隔热条，在热交换块下部平板部分四周设置有保温毡且至少超出热交换块的平板部分的底部10㎝以上。采用本发明专利技术，由于热交换块呈中间厚两侧薄，隔热条可以延缓中间（即凸起部分）向两侧的散热，保温毡超出热交换块下部使底部有足够的大纵向温度梯度，使热量能均匀的从热交换块下面辐射出来，促进均匀长晶，提高铸锭品质，又能充分保留炉体内足够多不熔化的硅料有利于下次铸锭。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种多晶铸锭炉。
技术介绍
目前，在利用半熔工艺生产硅碇的多晶铸锭炉中，是在炉内的坩埚底部设置既方又平整的板状的热交换块，这种热交换块由于散热不均，长晶过程中会出现凸形晶面，形成位错，沉积杂质，影响了多晶硅品质，且其生产出的成品率只有在64%左右，且4个边角很容易将应保留不熔化的硅料化完，故不能达到生产整锭的效果。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供能防止长晶过程中出现凸形晶面，且能生产出较完整硅锭的一种多晶铸锭炉。本专利技术采取的解决方案是：一种多晶铸锭炉，在炉体中设有隔热笼，坩埚位于隔热笼中，在坩埚的顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，在坩埚的两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，在坩埚的底部设有热交换块，其特征在于热交换块呈凸形且凸起的一面与坩埚的底部相接触，在热交换块上部的凸起部分的四周设置有隔热条，在热交换块下部的平板部分的四周设置有保温毡且保温毡至少超出热交换块的平板部分的底部10㎝以上。采用本专利技术，由于热交换块呈中间厚两侧薄，且在热交换块的凸起部分增加了隔热条，延缓了中间（即凸起部分）向两侧的散热，同时保温毡超出热交换块下部使底部有足够的大纵向温度梯度，使热量能均匀的从热交换块下面辐射出来，促进均匀长晶，提高铸锭品质，又能充分保留炉体内足够多不熔化的硅料有利于下次铸锭。据实验结果表明，成品率可以达到70%。附图说明图1是本专利技术的示意图。图2是本专利技术的热交换块的示意图。图中序号表示：炉体1、隔热笼2、顶部加热器3、侧部加热器4、坩埚5、隔热条6、保温毡7、热交换块8、支柱9、凸起部分10和平板部分11。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作详细的说明。参照图1和图2，该多晶铸锭炉的炉体1中通过支柱9架设有隔热笼2，坩埚5位于隔热笼2中，在坩埚5的顶部以及隔热笼2内设有顶部加热器3，在坩埚5的两侧以及隔热笼2内设有侧部加热器4，在坩埚5的底部设有呈凸形的热交换块8，且凸起部分10与坩埚5的底部相接触，在热交换块8上部的凸起部分10的四周设置有隔热条6，在热交换块8下部的平板部分11的四周设置有保温毡7，且保温毡7至少超出热交换块的平板部分11的底部10㎝以上。由于热交换块呈中间厚两侧薄，在热交换块的凸起部分10的四周增加了隔热条6，延缓了中间（即凸起部分10）向两侧的散热，同时保温毡7超出热交换块8的平板部分11的底部，使底部有足够的大纵向温度梯度，使热量能均匀的从热交换块8下面辐射出来，促进均匀长晶，不会形成凸形晶面，能保证整锭都是高效多晶硅碇，提高铸锭品质，又能在四周保温作用下，充分保留炉体内足够多不熔化的硅料有利于下次铸锭，使应熔化和应保留部分达到一个最有效的平衡点。据实验结果表明，成品率可以达到70%，从而提高多晶硅料的生产利用率。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶铸锭炉，在炉体中设有隔热笼，坩埚位于隔热笼中，在坩埚的顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，在坩埚的两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，在坩埚的底部设有热交换块，其特征在于热交换块呈凸形且凸起的一面与坩埚的底部相接触，在热交换块上部的凸起部分的四周设置有隔热条，在热交换块下部的平板部分的四周设置有保温毡且保温毡至少超出热交换块的平板部分的底部10㎝以上。

【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭炉，在炉体中设有隔热笼，坩埚位于隔热笼中，在坩埚的顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，在坩埚的两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，在坩埚的底部设有热交换块，其特征在于热交换块呈凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王土军，徐闻韬，徐增宏，
申请(专利权)人：浙江硅宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33