【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶铸锭炉底部保温装置。
技术介绍
由于市场的原因，多晶铸锭行业在努力控制成本的同时更加关注多晶硅片的质量，所以多晶铸锭行业采用半熔工艺来提升多晶硅片的转换效率，半熔工艺关键在于晶锭底部籽晶面积。目前，多晶铸锭行业内晶锭籽晶面积很难做到100%，同时采用半熔工艺铸锭，晶锭中会存在杂质点，会影响晶锭1.5%左右的成品率。
技术实现思路
本技术其目的就在于提供一种多晶铸锭炉底部保温装置，解决了晶锭生产过程中，晶锭底部籽晶面积小，且晶锭中会存在杂质点，导致成品率低的问题。实现上述目的而采取的技术方案，包括隔热笼，隔热笼内部顶端设有顶部加热器，顶部加热器下端设有石墨顶板，石墨顶板下端设有坩埚，坩埚外侧设有石墨护板，石墨护板外侧设有侧部加热器，坩埚下端设有石墨底板，石墨护板下端设有DS块，所述DS块上端设有DS块上部保温板，DS块下端设有DS块下部保温板，DS块外侧在DS块上部保温板与DS块下部保温板之间设有DS块中部保温板，所述DS块下端连接石墨支柱，石墨支柱下端设有底座。有益效果与现有技术相比本技术具有以下优点。1. 铸锭熔化阶段：DS块温度不会受到侧部加热器影响，从而保证坩埚底部籽晶预留面积达到100%；2.铸锭长晶阶段：有效减少晶锭四周的热量散失，减少横向温差，同时减少晶锭边缘长晶速率的波动，降低晶锭杂质点，提升晶锭1%成品率；3.同时可以防止晶锭边缘温度过低，使晶锭边缘晶粒生长较直。附图说明以下结合附图对本技术作进一步详述。图1为本技术结构示意图；图2是DS块下部保温板结构示意图；图3是DS块中部保温板结构示意图。具体实施方式本装置包括隔热笼1，隔...
【技术保护点】
一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼（1），隔热笼（1）内部顶端设有顶部加热器（2），顶部加热器（2）下端设有石墨顶板（3），石墨顶板（3）下端设有坩埚（5），坩埚（5）外侧设有石墨护板（6），石墨护板（6）外侧设有侧部加热器（4），坩埚（5）下端设有石墨底板（7），石墨底板（7）下端设有DS块（9），其特征在于，所述DS块（9）上端设有DS块上部保温板（8），DS块（9）下端设有DS块下部保温板（11），DS块（9）外侧在DS块上部保温板（8）与DS块下部保温板（11）之间设有DS块中部保温板（10），所述DS块（9）下端连接石墨支柱（12），石墨支柱（12）下端设有底座（13）。
【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼（1），隔热笼（1）内部顶端设有顶部加热器（2），顶部加热器（2）下端设有石墨顶板（3），石墨顶板（3）下端设有坩埚（5），坩埚（5）外侧设有石墨护板（6），石墨护板（6）外侧设有侧部加热器（4），坩埚（5）下端设有石墨底板（7），石墨底板（7）下端设有DS块（9），其特征在于，所述DS块（9）上端设有DS块上部保温板（8），DS块（9）下端设有DS块下部保温板（11），DS块（9）外侧在DS块上部保温板（8...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷杰，董朝龙，宋丽平，黄林，张泽兴，赖昌权，张珩琨，许桢，冯子甜，
申请(专利权)人：江西旭阳雷迪高科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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