【技术实现步骤摘要】
一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置
本技术涉及一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置。
技术介绍
将直拉单晶圆棒去除边皮得到单晶长棒,粘胶后通过切片机切成小长方体状类单晶籽晶,将其平铺在坩埚底部,再经过铸锭炉得到类单晶铸锭。类单晶籽晶是生产类单晶铸锭时最为重要的原材料,它的完整度直接影响到类单晶铸锭的质量,因为类单晶籽晶的尺寸分为很多种,边长不一定是156.75mm,和产线上的工装尺寸不匹配,其加工过程中很容易出现崩角、隐裂等损伤,目前脱胶工序出现损伤的概率很大。
技术实现思路
本技术其目的就在于提供一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置,解决了目前脱胶工序中出现类单晶籽晶崩角、隐裂等损伤概率很大的问题。为实现上述目的而采取的技术方案是,一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置,包括镶嵌式固定在金属框架内的保护框,所述保护框的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔,所述保护框内装有类单晶籽晶,类单晶籽晶上端设有玻璃板,玻璃板上端设有晶拖,所述保护框和类单晶籽晶相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网。有益效果与现有技术相比本技术具有以下优点。本技术的优点是,能够防止类单晶籽晶脱胶后因磕碰而造成崩角、隐裂等损伤,保证类单晶籽晶的完整性,提高类单晶籽晶铸锭的质量。附图说明以下结合附图对本技术作进一步详述。图1为本技术的结构示意图;图2为本技术中金属框架的结构示意图;图3为本技术中保护框的结构示意图;图4为本技术中软塑料网的结构示意图。具体实施方式下面结合附图,对本技术作进一步的说明。本装置包括镶嵌式固定在金属框架1内的保护框2,如图1-图4所示,所述保护框2的4个侧壁以及底部端面均 ...
【技术保护点】
1.一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置,包括镶嵌式固定在金属框架(1)内的保护框(2),其特征在于,所述保护框(2)的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔(7),所述保护框(2)内装有类单晶籽晶(4),类单晶籽晶(4)上端设有玻璃板(5),玻璃板(5)上端设有晶拖(6),所述保护框(2)和类单晶籽晶(4)相接触的4个侧壁以及底部端面上还均设有软塑料网(3)。
【技术特征摘要】
1.一种脱胶工序类单晶籽晶的保护装置,包括镶嵌式固定在金属框架(1)内的保护框(2),其特征在于,所述保护框(2)的4个侧壁以及底部端面均设有密排分布的细孔(7),所述保护框(2)内装有类单晶籽晶(4),类单晶籽晶(4)上端设有玻璃板(5),玻璃板(5)上端设有晶拖(6),所述保护...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘世龙,张泽兴,王超,雷琦,刘超,徐云飞,赖昌权,
申请(专利权)人:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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