一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉；第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接；第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管，以及备用气管的一端通过三通接头连接；第一多晶炉的排气管上设有第一阀门；第二多晶炉的排气管上设有第二阀门；备用气管的两端分别设有第三阀门、第四阀门。本发明专利技术将发生真空泵故障的多晶炉抽气管路，转接至可正常运行的相邻炉台的真空泵预留接口上。此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废。

Multi crystal furnace vacuum pump fault bridging and saving device

The invention discloses a multi crystal furnace vacuum pump failure across saving devices, the more than and 2 crystal furnace comprises a first polycrystalline furnace, adjacent to the first polycrystalline furnace; the first polycrystalline tube furnace exhaust inlet and the first vacuum pump connecting tube; inlet pipe section more than and 2 crystal furnace exhaust pipe and the vacuum pump second in the end, and the spare gas through the three joints connecting the first polycrystalline furnace; the exhaust pipe is provided with a first exhaust valve; the more than and 2 crystal furnace tube has second valves; both ends of the spare gas are respectively provided with third valves, fourth valves. The polycrystalline furnace of the invention will be vacuum pump fault pumping pipeline, vacuum pump can be transferred to the normal operation of the adjacent table reserved interface. The emergency handling time of the jumper device can be compressed to less than 5 minutes, and the ingot casting process has little influence.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏设备
，具体涉及一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置。
技术介绍
针对多晶硅铸锭行业工艺的特殊性，在开始多晶炉抽空阶段，要求能快速的抽到10Pa以下的压力，在融化、长晶、退火及冷却阶段，需要充入氩气作为保护气氛和排出杂质，并保持炉内氮气压力在60000Pa，此时需要真空系统能长时间进行维持。而多晶炉在铸锭过程中真空泵有可能会发生故障，真空泵更换和维修耗时太长，会对多晶铸锭的品质造成严重不良影响，通常会造成报废或部分报废，甚至还会存在安全隐患。因此采用一种简单有效的应急抢救措施，来避免此问题导致的铸锭过程中的报废是很有必要的。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提出一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，能够在真空泵发生故障时，及时排除不利影响。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉；第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接；第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管，以及备用气管的一端通过三通接头连接；第一多晶炉的排气管上设有第一阀门；第二多晶炉的排气管上设有第二阀门；备用气管的两端分别设有第三阀门、第四阀门。进一步的，所述备用气管为真空软管。进一步的，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门均为截止阀。本专利技术的有益效果有：1、此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废；2、利用真空软管、截止阀和三通接头等简易装置，将发生真空泵故障的铸锭炉抽气管路，转接至可正常运行的相邻炉台的真空泵预留接口上，结构简单，不需要增加太多设备成本；操作简单，能够及时排除不利影响。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图中标号：1、第一多晶炉；2、第二多晶炉；3、第一真空泵；4、第二真空泵；5、备用气管；6、第一阀门；7、第三阀门；8、第二阀门；9、第四阀门；10、三通接口。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作更进一步的说明。如图1所示多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉1、与第一多晶炉1相邻的第二多晶炉2；第一多晶炉1的排气管与第一真空泵3的进气管连接；第二多晶炉2的排气管与第二真空泵4的进气管，以及备用气管5的一端通过三通接头10连接；第一多晶炉1的排气管上设有第一阀门6；第二多晶炉2的排气管上设有第二阀门8；备用气管5的两端分别设有第三阀门7、第四阀门9。所述备用气管5为真空软管。所述第一阀门6、第二阀门8、第三阀门7、第四阀门9均为截止阀。第一真空泵3、第二真空泵4正常工作时，第一阀门6、第二阀门8开启，第三阀门7、第四阀门9关闭。第一真空泵3发生故障时，及时断开第一多晶炉1的排气管与第一真空泵3的进气管的连接，并将第一多晶炉1的排气管与备用气管5的另一端连接，然后打开第三阀门7和第四阀门9。这样第一多晶炉1的气体通过备用气管5被第二真空泵4抽走。此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出：对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，包括第一多晶炉(1)、与第一多晶炉(1)相邻的第二多晶炉(2)；第一多晶炉(1)的排气管与第一真空泵(3)的进气管连接；第二多晶炉(2)的排气管与第二真空泵(4)的进气管，以及备用气管(5)的一端通过三通接头(10)连接；第一多晶炉(1)的排气管上设有第一阀门(6)；第二多晶炉(2)的排气管上设有第二阀门(8)；备用气管(5)的两端分别设有第三阀门(7)、第四阀门(9)。

【技术特征摘要】
1.一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，包括第一多晶炉(1)、与第一多晶炉(1)相邻的第二多晶炉(2)；第一多晶炉(1)的排气管与第一真空泵(3)的进气管连接；第二多晶炉(2)的排气管与第二真空泵(4)的进气管，以及备用气管(5)的一端通过三通接头(10)连接；第一多晶炉(1)的排气管上设有第一阀门(6)；第二多晶炉(2)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：於俊杰，丁海，张仁全，
申请(专利权)人：镇江荣德新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32