【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉
,尤其涉及一种可视升降式单晶炉。
技术介绍
目前,随着科学技术的发展,单晶炉因其人们使用的频繁,所以人们对单晶炉的功能也有越来越高的要求,单晶炉是一种在惰性气体环境中,用加热器将多晶硅等材料融化,从而制造出生长无错位的单晶硅设备,而目前市面上所使用的单晶炉,因其结构设计等问题,坩埚内充填硅料较少,而且在化料过程中,单晶炉内壁容易接触材料液体,造成了炉体内的污染,从而使单晶炉使用寿命减小。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺陷,本技术的目的是提供一种可视升降式单晶炉。本技术是采取以下技术方案来实现的:一种可视升降式单晶炉,它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器,所述石英坩埚设置于炉体内,且石英坩埚底部设有埚托;所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗;所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道;所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口;所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层;所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔;所述隔热层与炉体内壁之间设有通道;所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔;所述埚托下方连接支撑有埚杆;所述埚杆另一端与固定于底座上的液压升降机构相连接;所述炉体与底座之间通过钢质骨架连接固定;所述观察视窗倾斜60度方向设置与炉盖上表面;所述保温罩为厚度8mm的碳纤维材料制成;所述加热器为石墨加热器。综上所述本技术具有以下有益效果:本技术单晶炉具有结构设计合理、操作简单和使用寿命长等优点,所述单晶炉内设置的保温罩其保温性能好,避免晶硅因受热不均而受到损害;所述炉盖上方 ...
【技术保护点】
一种可视升降式单晶炉,它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器,其特征在于:所述石英坩埚设置于单晶炉内,且石英坩埚底部设有埚托;所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗;所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道;所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口;所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层;所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔;所述隔热层与炉体内壁之间设有通道;所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔;所述埚托下方连接支撑有埚杆;所述埚杆另一端与固定于底座上的液压升降机构相连接;所述炉体与底座之间通过钢质骨架连接固定。
【技术特征摘要】
1.一种可视升降式单晶炉,它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器,其特征在于:所述石英坩埚设置于单晶炉内,且石英坩埚底部设有埚托;所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗;所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道;所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口;所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层;所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔;所述隔热层与炉体内壁之间设有通道;所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔;所述埚托下方...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐建,
申请(专利权)人:安徽旭特电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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